판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9213464
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2006 년 TEL에서 소개하고 2007 년에 출시 된 TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment는 고급 기술, 고유 한 시스템으로, 추가 제작 및 조립을 위해 기판을 정리, 회전 및 굽습니다. 고급 포토 esist 기술을 사용하며 얇은 반사 표면 필름을 만듭니다. 이 장치를 사용하면 더 미세한 표면 프로파일 조건과 더 높은 수준의 유전체 층 무결성 (dielectric layer integrity) 을 통해 고품질 포토리스 (photoresist) 패턴을 일관되게 얻을 수 있습니다. 온보드 컨트롤은 서피스의 입자 레벨을 능동적으로 모니터링하고 관리합니다. 또한 이 기계는 운영자의 효율성을 높이기 위해 레시피 데이터베이스를 내장하고 있습니다. 또한 TEL MARK8 도구에는 자동 정렬, 스핀 코팅 및 베이크 냉각 기능과 같은 고급 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8은 가장 성공적인 TOKYO ELECTRON 자산이자 해당 분야의 리더입니다. 사용자 친화성, 효율적인 처리 능력, 다양한 증착 기능 때문에 사용자가 선호합니다. 이 모델은 많은 유형의 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 널리 사용됩니다. TOKYO ELECTRON Mark 8은 고도로 민감하고 정확한 고급 센서를 완벽하게 사용합니다. 최첨단 온도 및 압력 센서 (pressure sensor) 는 기판의 온도를 측정하는 데 사용되므로 일관된 품질이 보장됩니다. 이 장비는 히터 (heater) 와 센서 (sensor) 간에 데이터를 전송하는 데 매우 효율적이며, 쉽게 모니터링, 제어 및 조정할 수 있습니다. Advanced Spin 및 Spin Coating 기술은 photoresist와 기판을 균일하게 코팅하는 데 사용됩니다. 스핀 및 스핀 코팅을 사용하면 일관된 프로파일로 정확한 필름을 만들 수 있습니다. 특수 고압 계량 시스템은 깨끗함과 정확성을 더욱 보장합니다. 이 장치 에는 기판 의 온도 를 신속 하고 정확 하게 조정 하는 열 교정 장치 (thermal calibration machine) 도 장착 되어 있다. 온도 조절은 오버 (over) 또는 언더 (under-cooking) 의 위험을 최소화하면서 정확한 베이킹 시간을 보장합니다. 또한이 도구는 최신 EU 안전 및 환경 표준을 충족합니다. 화재 멸종 및 유출 방지 히터를 포함한 광범위한 안전 기능이 있습니다. 또한, 정교한 온화 자산은 공기의 용질 입자를 줄이는 효과적인 솔루션을 제공합니다. 마크 -8 (MARK-8) 은 고급적이고 신뢰할 수있는 포토리스 연주자 모델로, 뛰어난 고품질의 포토리스 연주자 필름을 만들 수 있습니다. 자동 정렬, 스핀 코팅 (spin-coating), 베이크 냉각 (bake-cooling) 기능과 같은 기능을 통해 매우 정밀하고 고품질의 필름을 제작할 수 있는 완벽한 솔루션입니다.
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