판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9206056

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9206056
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 매우 정밀한 리소그래피 프로세스에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 0.5 미크론 (0.5 미터) 의 최고 해상도를 자랑하는 초고해상도 이미징을 위해 제작되었습니다. 그것 은 여러 가지 성분 으로 구성 되어 있는데, 이 성분 은 함께 작용 하여 완전 한 "포토레지스트 '무늬 장치 를 만든다. 장치 의 핵심부 에는 "이미저 '가 있는데, 그" 이미저' 는 "포토마스크 '를 읽은 다음" 이미지' 를 "포토레지스트 '코팅 웨이퍼' 에 투영 한다. KrF 엑시머 레이저 광원 (Laser Light Source) 및 쿼드루폴 미러 (Quadrupole Mirror) 와 같은 가장 고급 마이크로 리토 그래피 기술을 사용하여 이미지를 포커스하여 웨이퍼에 정확하게 전달합니다. TEL MARK8에는 자동 웨이퍼 정렬 기계도 있습니다. 이렇게 하면 도구가 photomask 상의 패턴을 wafer 상의 같은 패턴에 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이렇게 하면 패턴이 정확하게 복제됩니다. 자산의 고급 광학, 고해상도 이미징 및 자동 정렬 모델은 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 생산과 같은 프로세스에서 극도의 정확성과 정밀도가 필요한 응용 분야에 적합한 TOKYO ELECTRON MARK-8을 만듭니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON MARK8에는 웨이퍼 노출 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 노출, 개발 및 저항 처리를 담당합니다. 고급 스테퍼, 정렬 기, 개발자 및 저항 장치 구성 요소를 통해이를 수행합니다. 그 결과 매우 높은 수율로 고품질의 저비용 패턴화가 가능합니다. 마지막으로, TEL MARK-8은 가장 정확한 환경을 위해 설계되었으며, 포괄적인 안전 패키지를 제공합니다. 이 기계는 클래스 1 레이저 (Class 1 laser) 및 로컬 배기 도구 (local exhaust tool) 와 같은 다양한 안전 표준을 충족하도록 설계되어 포토리스 (photoresist) 노출 중에 연산자를 보호합니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8은 강력하고 신뢰할 수있는 포토 세스트 자산으로, 높은 수율로 매우 정확한 리소그래피 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 핵심 구성 요소는 마이크로 리토 그래피 기술, 자동 웨이퍼 정렬 및 통합 웨이퍼 노출 모델을 특징으로합니다. 또한, 이 장비는 까다로운 운영 환경에서 안전하고 안정적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
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