판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9180753

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 단단하고 유연한 기판에 집적 회로를 만드는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광원 (light) 을 사용하여 이미지를 얇은 저항층 (resist layer) 으로 패턴화하는 고급 리소그래피 (lithography) 기술을 기반으로 합니다. 빛은 고정밀, 가변 초점 광학 시스템에 의해 투영되며, 여러 소프트웨어 및 하드웨어 구성 요소를 사용하여 제어됩니다. 이 장치는 고급 오버레이, Telecentric Imaging, Long-depth Imaging, high-volume parameter control 등 다양한 프런트엔드 Optic 기능을 지원합니다. 이 기계에는 프로세스 매개변수를 실시간으로 최적화하는 자동 빌드 프로세스 엔진 (auto-build process engine) 도 포함되어 있으며, 다운 라인 검사 기능을 제공합니다. 집적 회로에 대한 TEL MARK8의 저항 코팅은 다른 포토 esist 시스템보다 정밀도 및 품질이 높습니다. 또한 더 큰 기판을 처리 할 수 있으며, 최대 650mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 높은 정확도와 빠른 기반은 높은 속도와 정확도로 집적회로 (integrated circuit) 의 생산에 크게 기여합니다. 또한, 고급 구조 불균형 탐지기를 통해 도구가 복잡한 3D 구조를 처리하고 생산 속도 및 정밀도를 높일 수 있습니다. 에셋은 또한 최적의 이미징을 위해 기판 종속 매개변수 세트를 지원하며, 레지스트 코팅 프로세스를 위해 여러 옵션을 제공합니다. 이 모델은 고속, 고효율 자동 노출 및 장비 개발을 특징으로합니다. 이 시스템은 매우 높은 정밀도와 반복성을 보장하며, 이는 프로세스 최적화에 이상적입니다. 또한 조리개 제어, 영역 선택 및 전체 필드 이미징과 같은 다중 노출 및 개발 모드를 지원합니다. TOKYO ELECTRON MARK-8에는 저항 필름을 제거하는 데 사용할 수있는 웨이퍼 플라즈마 제거 장치도 있습니다. 이 기계는 TEL MARK-8을 MEM과 같은 박막 레이어와 관련된 응용 프로그램에 이상적으로 만듭니다. TOKYO ELECTRON Mark 8은 광범위한 임베디드 제어 기술을 갖추고 있습니다. 이 툴에는 정확한 안감, 테이프 포지셔닝, 패턴화를 지원하는 고속 제어 툴이 있습니다. 또한 기가비트 이더넷, CAN 버스 및 SPI와 같은 고급 통신 프로토콜도 지원합니다. 이를 통해 자산을 기존 운영 라인에 완벽하게 통합할 수 있습니다. Mark 8은 최고의 안전 및 신뢰성 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 자가 진단 (self-diagnosis) 모델이 자동화되어 있어 결함을 감지하고 필요할 때 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장비는 또한 상세한 보고서 및 데이터 (data for analysis) 를 제공하여 프로세스 최적화를 그 어느 때보 다 쉽게 해줍니다. 또한 MARK-8 에는 최적의 제조 성능 및 신뢰성을 보장하는 광범위한 안전 기능이 포함되어 있습니다.