판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9161033

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 특수 자동화 처리 시스템입니다. 고급 기술을 활용하여 탁월한 성능과 안정성을 제공하는 Class PB 1000 프로세싱 플랫폼을 기반으로 합니다 (영문). 이 장치의 플랫폼에는 모든 유형의 반도체 제작 프로세스에 대해 사전 구성된 레시피를 갖춘 다중 프로세스 기능, 프로세스 작업 최적화 방법을 배우는 지능형 프로세스 제어 엔진 (Intelligent Process Control Engine), 탐색이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 플랫폼은 photoresist, etch, clean 및 deposition 프로세스를 포함한 모든 유형의 재료 및 프로세스와 호환됩니다. TEL MARK8 Photoresist Machine은 효율적인 photoresist 처리를 위해 다양한 특수 기능을 사용합니다. 여기에는 고정밀도 노출 도구 (photoresist to the wafer) 가 포함되어 있습니다. 이 자산은 포토 esist의 노출 및 노출 시간을 정확하게 제어 할 수 있으므로 생산 수율을 보장합니다. 또한, 탁월한 프로세스 제어 및 모니터링을 위해 하향식 (top-down) 프로세스 모니터링 모델이 장착되어 있습니다. 이 플랫폼에는 사전 구성된 기판 보호 장비도 포함되어 있습니다. 이것 은 "포토레시스트 '가 균일 한" 코우팅' 을 하기 때문 에 생산 과정 을 거친 후 에도 그 특성 이 일관성 있게 유지 된다. 플랫폼의 또 다른 중요한 특징은 고급 포토 esist 개발 시스템입니다. 이것 은 "포토레지스트 '가 아무런 과도 한 잔류 도 없이 개발 되고 그" 에치' 속도 가 최적화 된다. photoresist 처리의 정확성을 보장하기 위해 TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Unit에는 통합 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 (wafer), 노출 시간, 환경 온도 및 습도에 대한 photoresist의 거주 시간을 모니터링합니다. 이것은 생산 과정 전반에 걸쳐 일관된 포토 esist 품질을 유지하는 데 도움이됩니다. TEL Mark 8 Photoresist Asset에는 생산 프로세스를 간소화하는 통합 도구 모음이 제공됩니다. 여기에는 고급 기계 제어 기능, 프로세스 자동 모니터링, 통합 경보 및 경고, 경향 분석 등이 포함됩니다. 또한, 이 모델은 시간당 최대 50 개의 웨이퍼를 처리하여 매우 효율적이고 비용 효율적입니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment는 반도체 장치 생산을위한 자동화되고 효율적이며 안정적인 플랫폼입니다. 포토레스 (photoresist) 를 정확하게 처리하고 노출 및 개발 시간을 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 플랫폼에는 생산 프로세스 수익률을 최적화하고 귀중한 시간을 절약할 수 있도록 설계된 일련의 통합 (Integrated) 기능이 포함되어 있습니다.