판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9159072

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 빠르게 변화하는 현상을 관찰할 수 있도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 매우 정밀하게 짧은 시간에 걸쳐 서브 미크론 초미세 패턴 (sub-micron ultra-fine patterning) 을 감지하고 제어 할 수 있습니다. 스캐닝 전자 빔을 사용하여 나노 미터 해상도와 사진 식각 성능으로 감광 필름을 노출시킵니다. TEL MARK8을 사용하면 폴리 이미 드 (Polyimide) 와 같은 폴리머 기반 기질에서 알루미늄 (Aluminum) 과 같은 금속 기반 기질에 이르기까지 모든 기질에 다양한 패턴을 만들 수 있습니다. 사용 가능한 다양한 해상도를 가지고 있으며, 최고 해상도는 0.2 민입니다. 또한 X 축 및 Y 축 모두에서 고해상도로 스캔할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8은 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 주어진 샷에서 깊이 0-400mm를 처리 할 수 있습니다. 기계는 기판의 균일 코팅을위한 스핀 코터 (spin coater) 와 최대 스테이지 속도가 160 센티미터/분 (cm/분) 인 정밀 스테이지를위한 다중 축 스테이지 (multiple-axis stage) 를 갖추고 있습니다. 3D 패턴화, 투영 모세관, 3D 마스크 인쇄 등 다양한 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 MARK8은 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 및 반도체 (semiconductor) 산업에서 다양한 응용 분야에 적합한 도구입니다. TEL Mark 8은 (는) 원하는 노출 및 기판 크기를 쉽게 조정할 수 있는 통합 노출 제어 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 자산에는 또한 총 노출 시간을 22% 줄일 수있는 빠른 셔터가 있습니다. 이 모델은 고수준 모니터링 (High-Limit Monitor) 을 활용하여 도구 성능을 극대화하기 위해 장비 효율성에 대한 신속한 실시간 데이터 피드백을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8은 1 차 빔을 물체 표면에 정확하게 초점을 맞춘 포괄적 인 인 렌즈 시스템을 사용합니다. 이 장치는 또한 빔이 기판에 제대로 집중되도록 안쪽으로 보이는 카메라 모니터링 (camera monitoring) 을 가지고 있습니다. 내장된 교정 머신은 사용자가 쉽게 설치, 신속하게 공구를 사용할 수 있는 시간을 제공합니다. TEL MARK-8 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON에는 사용자를위한 적극적인 애프터 마켓 케어 및 지원 프로그램이 있습니다. 자산에 대해 빠르고 안정적인 서비스/유지 보수 서비스를 제공하며, 소프트웨어/하드웨어 업그레이드를 제공합니다. 또한 TEL 제품을 최대한 활용하기 위한 교육/문서화 서비스도 제공합니다 (영문).