판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9158967

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 반도체 장치 생산을 위해 설계된 폐쇄 루프 포토 esist 프로세스 제어 장비입니다. 광물질 화학적 농도 (photoresist chemical concentration) 의 상태를 실시간으로 측정하는 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithms) 세트와 웨이퍼 (wafers) 의 광물질 처리에 대한 온도 (temperature) 세트로 구성됩니다. 따라서, 이 "시스템 '은 광전물질 의 화학적 농도 와 온도 를 극히 정밀 하게 조절 하고 모니터링 해 주며, 이것 은 최적 인 광전염 발달 에 필요 하다. TEL MARK8은 두 가지 주요 구성 요소 (제어 장치 및 측정 단위) 로 구성됩니다. 제어 장치는 데이터 수집 시스템 (Data Acquisition Machine), 신호 처리 도구 (Signal Processing Tool), 디지털 제어 자산 등 여러 모듈로 구성됩니다. 데이터 획득 모델 (Data acquisition model) 은 포토 esist 화학 농도 및 온도를 포함한 관련 센서 신호를 캡처합니다. 신호 처리 장비는 데이터 분석 (data analysis) 및 전처리 (pre-processing) 작업을 수행하며, 디지털 제어 시스템은 제어 알고리즘을 구현하여 필요에 따라 포토리스 화학적 농도 및 온도를 모니터링하고 조정합니다. 측정 단위 (measurement unit) 는 챔버 내의 여러 위치에 설치된 다수의 프로브로 구성됩니다. 이 프로브 (probe) 는 제어 알고리즘이 프로세스 매개변수를 효과적으로 조정할 수 있도록 포토레스 (photoresist) 의 화학 농도 및 온도를 측정하는 역할을 한다. TOKYO ELECTRON MARK-8은 표준 인터페이스 덕분에 기존 설정에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 기계는 또한 모든 모듈과 기기에 대한 엄격한 자기 진단 (self-diagnostics) 을 수행하며, 지속적인 데이터 분석 (continuous data analysis) 을 수행하여 포토레시스트가 올바르게 처리되는지 확인하기 때문에 높은 신뢰성을 제공합니다. 또한 향후 분석을 위한 데이터 저장 (Store Data) 기능을 통해 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 전반적으로 TEL MARK-8 (TEL MARK-8) 은 고급적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 프로세스 제어 도구이며, 웨이퍼에서 포토 esist의 처리에 극단적 인 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 제어 알고리즘 (Advanced Control Algorithm), 향후 분석을위한 데이터 저장 기능, 높은 신뢰성 등이 있으며, 모두 반도체 장치 제조에 이상적인 선택입니다.