판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9142711

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 photoresist 장비는 정교한 웨이퍼 제작 프로세스를 위해 설계된 최첨단 광 석판 시스템입니다. 최고 수준의 제품 품질과 신뢰성을 보장합니다. 광학, 열 및 기타 복잡한 나노 스케일 (nanoscale) 구조를 다양한 기판에서 처리 할 수 있습니다. TEL MARK8 은 e-beam 및 i-Line 패턴을 모두 지원하므로 단일 플랫폼에서 R&D 및 프로덕션 프로세스를 모두 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8에는 13.56MHz 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스가 장착되어 있으며 플라즈마 침식을 줄이고 에치 선택성을 향상시키는 고급 정전 결합 플라즈마 (CCP) 기술이 특징입니다. 또한 고급 다중 영역 온도 제어 장치 (Advanced Multi-Zone Temperature Control Unit) 가 장착되어 모든 기판에서 정확하게 제어되는 균일성 및 프로파일 제어를 제공합니다. 또한, 고급 빔 제어 기계는 노출의 균일성을 보장합니다. EEU (Optimized End Effector Unit) 설계 및 고급 비전 시스템은 가장 작은 공간에서 가장 엄격한 공차와 가장 높은 해상도의 패턴을 가능하게 합니다. 이 도구는 소형 (compact) 크기와 작은 설치 공간을 가지고 있으며, 이는 공간이 제한된 실험실 및 기타 소규모 생산 환경에 이상적입니다. 또한, 이 자산은 로봇 처리 (robotic handling) 와 같은 최신 자동화 기술을 갖추고 있으며, 다양한 클린 룸, 핫 링크 및 전송 환경에 쉽게 통합 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK8은 나노 미터 수준에서 최고 수준의 생산성과 정확한 패턴을 제공합니다. 실험실 및 연구 시설에 이상적인 툴로서, 전례없는 성능과 유연성을 제공합니다. 이 모델은 최고의 생산성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 따라서 고객은 다운타임을 최소화하면서 목표를 달성할 수 있습니다.