판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9115313

텔/도쿄 전자 마크 8 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) 은 반도체 산업에서 웨이퍼의 광석기 처리에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 200mm - 450mm 범위의 기판을 처리할 수 있으며, 마스크 기반 및 직접 쓰기 프로세스 모두에 적합합니다. 이 장치 에는, 가공 하기 전 에 기판 을 청소 하고 "린스 '하는 데 사용 할 수 있는 장비 있는 청소기 가 들어 있다. 기판 입력/출력 장치가 내장되어 있어 매우 효율적이고 사용하기 쉽습니다. 도구와 함께 사용되는 여러 가지 유형의 photoresist가 있습니다 (예: 양수, 음수 및 양수/음수). TEL MARK8 (TEL MARK8) 은 스테퍼를 사용하여 기판을 원하는 위치로 정확하게 이동시키고, 모든 방향으로 회전, 올리기, 낮춤, 기본 확대/축소를 할 수있는 웨이퍼 단계를 사용합니다. 또한 프로세스 매개변수 (process parameter) 에 대해 더 높은 수준의 제어를 할 수있는 8 구역 가스 전달 자산 (thin-zone gas delivery asset) 이 장착되어 있습니다. 특히 박막 처리 시 유용합니다. 이 모델에는 엑시머 레이저, 이온 소스, 스캐닝 전자 빔 소스 (scanning electron beam source) 로 구성된 내장 방사선 원이 있습니다. 또한 증발, 스퍼터링, 스퍼터 증착과 같은 프로세스를 가능하게하는 진공 처리 모듈이 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8은 고밀도 상호 연결 형성, 미크론 레벨 패턴 형성 및 스루 홀 리소그래피와 같은 응용 분야에 적합합니다. 또한 수동 레이어, 격리 레이어, photomask 등의 고급 필름 시스템을 만들 수 있습니다. 사용자가 모든 유형의 제조 및 처리 요구 사항을 수행 할 수있는 기능이 풍부한 플랫폼을 갖추고 있습니다. 도쿄 전자 마크 8 (TOKYO ELECTRON Mark 8) 은 매우 신뢰할 수 있고 고급 포토리스 (photoresist) 장비로 다양한 기판 및 포토리스트 (photoresist) 를 처리 할 수 있으며 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 반도체 업계에서 다재다능성과 사용 편이성 (Use's Use) 으로 인기가 높은 시스템이며, 다양한 광석기 (Photolithographic) 프로세스를 정확하고 빠르게 수행 할 수 있습니다.