판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109448

텔/도쿄 전자 마크 8 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) 은 노출 프로세스에 대한 정확한 제어성을 갖춘 높은 정확도 패턴을 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 리포그래피' 와 "에칭 '을 포함 한" 웨이퍼' 처리 "애플리케이션 '을 위해 얇은" 필름' 층 을 반도체 "웨이퍼 '에 코팅' 할 수 있게 한다. 이 장치에는 강력한 스테퍼, 자동 컨트롤러, 광학 이미징 머신 및 동력 스테이지가 포함됩니다. 공구의 중심부 인 스테퍼 (stepper) 에는 광각 (wide angle) 과 좁은 각도 (narrow angle) 렌즈가 장착되어 있어 사진 저항 처리에 필요한 조명각을 제공합니다. "스테퍼 '는 또한 광학" 에셋' 과 관련 하여 "웨이퍼 '를 정밀 하게 정렬 할 수 있는 전동식" 웨이퍼 스테이지' 와 "디텍터 '를 가지고 있어서" 마이크론' 의 분수 내 의 정확성 을 허용 한다. 또한 스테퍼에는 최적의 이미징 성능에 필요한 3 축 조정을 제공하는 정렬 메커니즘이 포함되어 있습니다. 스테퍼에 연결된 자동 컨트롤러는 필요한 모든 제어 매개 변수 (예: 웨이퍼 위치, 단계 크기, 노출 용량, 노출 시간) 를 제공합니다. 이러한 매개변수를 사용하여 연산자는 노출 (exposure) 절차를 효과적으로 제어하여 최적의 이미지 크기를 달성할 수 있습니다. TEL MARK8의 광학 이미징 모델에는 큰 조명을 받은 시야가 있는 DMD (Direct Mask Data) 이미징 장비가 포함되어 있어 프로젝션 광학을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 시스템은 개별 석판화 (lithography) 애플리케이션에 필요한 다양한 노출을 수용하도록 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 동력 단계 (motorized stage) 를 사용하면 장치를 수동으로 재설정하지 않고도 장치를 다음 웨이퍼 위치로 이동할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8 포토리스 스틱 머신 (photoresist machine) 은 높은 정확도와 정확한 제어성을 조합하여 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 탁월한 선택입니다. 이 조합을 통해 제조업체는 고해상도 이미지로 '웨이퍼' 를 빠르게 만들 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 제조 공정의 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다.