판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109446
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ID: 9109446
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
(2) Coaters / (2) Developers System, 8"
2C2D/5HP/2DHP/6CP/1AD/1WDS/1WEE
2-1 RRC x2
EBR cylinder
2-2 RRC x2
THC
C/B
Local
9801F
RtL
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 포토레지스트 (photoresist) 장비는 반도체 업계에서 사용되는 강력한 석판화 툴로, 고정밀도 및 고성능 전자 부품 제작에 필수적입니다. TEL MARK8 시스템은 뛰어난 이미지 품질과 해상도를 제공하는 고급 석판화 장치입니다. 질소 그림자 기법을 사용하여 장치 기판에 복잡한 패턴을 만듭니다. 기계는 저항 전달 도구, 레이저 소스, 광학 어셈블리 및 지원 자산으로 구성됩니다. 저항제 배달 모델 (resist delivery model) 은 각 패턴에 필요한 저항재의 양을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 사용자는 resist 영역의 원하는 너비를 정확하게 선택할 수 있습니다. 장비의 레이저 소스는 CO 2 레이저 (CO 2 레이저) 로, 파장과 펄스 지속 시간을 조절하여 다양한 패턴을 만들 수 있습니다. 레이저는 10nm 해상도의 패턴을 만들도록 설계되었습니다. 광학 부품에는 고품질 이미지를 제공할 수 있는 이미징 (imaging) 섬유가 포함되어 있습니다. 또한 수차를 최소화하고 저항 확산을 최소화하도록 설계되었습니다. 지원 시스템은 프로세스 제어를 향상시키기 위해 자동화된 패턴화 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-8 포토 esist 유닛은 탁월한 처리량을 갖춘 안정적이고 고정밀 이미징 프로세스를 제공합니다. 하나의 노출 프로세스에서 여러 개의 패턴 레이어를 생성할 수 있습니다. 이 시스템은 사용자 친화적으로 설계되었으며, 다양한 맞춤형 (customizable) 옵션을 통해 프로세스를 올바르게 실행할 수 있습니다. 사용자는 노출 매개변수, 패턴 피치, 샷 크기 등의 매개변수를 선택할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 모니터링 에셋 (monitor asset) 이 장착되어 모든 패턴이 최고의 품질로 만들어지도록 합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 포토 esist 모델은 실리콘, 갈륨 비소 및 유리를 포함한 다양한 기질에 적합합니다. 이 장비는 마이크로 일렉트로닉스, 광전자 (optoelectronics), 의료 기기 등 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 신뢰성이 높으며, 추가 유지 보수 (maintenance) 나 보정 (calibration) 이 필요 없이 작동할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Mark 8은 뛰어난 이미지 품질과 해상도를 제공하는 고급 석판화 장치입니다. 다양한 응용 프로그램에 대한 복잡한 패턴을 만드는 데 이상적인 기계입니다. 이 도구는 사용자 친화적으로 설계되었으며 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 패턴이 올바르게 형성되도록 합니다. 자산은 또한 신뢰성이 높으며, 추가 유지 보수 또는 보정이 필요하지 않고 운영 할 수 있습니다.
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