판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098643

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 석판 공정에 사용하도록 설계된 Photoresist Equipment입니다. TEL MARK8은 반도체 장치 제작을 위해 마이크로 설비 및 마이크로 일렉트로닉스에 사용되는 석판화 시스템입니다. 이 장치는 마스크 정렬 기계, 웨이퍼 스테이지, Photoresist 도구 및 광학 도구로 구성됩니다. 마스크 정렬 에셋은 두 가지 주요 구성 요소, 즉 스테이지 동작을 제어하는 스테이지 동작 제어 장치 (stage motion control unit) 와 웨이퍼 정렬 단위 (wafer alignment unit) 로 구성됩니다. 웨이퍼 정렬 장치 (wafer alignment unit) 는 웨이퍼를 마스크에 캡처하고 정렬하는 데 사용됩니다. 또한 인코더 모델을 사용하여 2 차원 정렬이 달성됩니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 정확하고 정확하게 정렬됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 웨이퍼를 마스크로 물리적으로 전송하는 작업을 수행합니다. 스테이지에는 저관성 선형 액추에이터, 공기 급지대 및 3 상 인코더 시스템과 같은 모션 제어 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이러한 메커니즘은 웨이퍼 스테이지의 동작을 정확하고 정확하게 가능하게합니다. Photoresist 장비는 감광 필름으로 웨이퍼를 코팅하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-8에는 화학 공급 장치, 진공 분배 장치, 가스 제어 장치 및 가열 장치가 장착되어 있습니다. 화학 물질 을 사용 하여 "탱크 '에" 와퍼' 를 입히는 화학 약품 을 채우고 보충 한다. 진공 분배 장치 (vacuum dispense unit) 는 웨이퍼에 진공을 생성하여 포토 esist를 웨이퍼에 균등하게 적용 할 수 있도록 한다. "가스 '조절 장치 는 안전 하고 오염 이 없는 환경 을 보장 하는 데 사용 된다. 가열 장치는 화학 물질을 조절 된 온도로 유지하는 데 사용됩니다. TEL MARK-8의 광학 도구는 웨이퍼를 빛에 노출시키는 데 사용됩니다. 이 도구에는 조명 광학 및 이미징 광학이 장착되어 있습니다. 조명광학 은 빛 이 "마스크 '를 통과 하여" 웨이퍼' 에 투영 될 수 있게 한다. 이미징 광학 장치 (Imaging Optic) 를 사용하면 와퍼를 이미징하여 정렬 프로세스를 도울 수 있습니다. 도쿄 전자 MARK8 (TOKYO ELECTRON MARK8) 은 석판 공정의 정확성과 정확성을 보장하기 위해 다양한 최첨단 기술을 갖추고 있습니다. 장치 "스테이지 '의 정확 한 정렬 과 화학 공급 장치 의 정확 한 제어 는" 웨이퍼' 에 "포토레지스트 '의 균일 하고 믿을 만한 증착 을 보장 해 준다. 마스크 정렬 시스템과 이미징 광학은 정확하고 품질의 이미징을 제공합니다. 이러한 기능의 조합은 Mark 8에 가장 고급 반도체 장치를 만드는 데 필요한 도구를 제공합니다 (영문).