판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098641

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098641
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 집적 회로 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 시스템은 자동 노출 장치, 자동 처리 장치 및 자동 검사 장치로 구성됩니다. 해상도 4m, 직경 8 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 자동 노출 장치 (Auto-Exposure Unit) 는 리소그래피에 사용되는데, 이는 빛을 사용하여 포토리스 (photoresist) 재료에 패턴을 생성하는 과정입니다. TEL MARK8은 포토리스트 웨이퍼에 빠르고 고품질 포토플롯을 노출시키는 데 사용하도록 설계되었습니다. 이것은 크롬, 몰리브덴 (molybdenum) 또는 기타 금속 패턴으로 구성된 광 마스크를 통해 투사 된 자외선을 사용하여 달성됩니다. 투영된 패턴은 포토마스크 (photomask) 를 통해 투영된 이미지를 광학적으로 감소시켜 웨이퍼 (wafer) 로 전달됩니다. 자동 처리 장치는 자동 노출 장치 (auto-exposure unit) 에 의해 노출 된 필름을 코팅 및 개발합니다. 일반적으로 TOKYO ELECTRON MARK-8 장치에 사용되는 개발자는 산성 및 알칼리성입니다. 개발 후, 자동 검사 장치 (auto-inspection unit) 는 패턴 검사의 책임을 맡아 결함이 없는지 확인합니다. MARK-8은 집적 회로 생산에서 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 4 "미터 '의 해상도 와 최대 8" 인치' 의 직경 의 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있는 능력 을 가진 기계 는 적시 에 정확 하고 고품질 의" 포토플롯' 을 생산 할 수 있다. 자동 노출, 자동 처리 및 검사 장치를 통해 사용자에게 친환경적이고 신뢰할 수 있는 툴이 됩니다. 광범위한 집적 회로 생산 요구에 이상적입니다.
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