판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098402

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098402
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 일반적으로 마이크로 서킷 제작에 사용되는 사진 해설을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 플랫 서피스 (flat surfaces) 에 추상 패턴을 생성하는 데 사용할 수 있으며, 고급 또는 복합 집적 회로 설계에 종종 사용됩니다. TEL MARK8은 웨이퍼 스테이지, 램프 및 포토 esist의 세 부분으로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 시스템의 베이스로, 원하는 집적 회로 설계를 가진 웨이퍼가 배치됩니다. 디자인은 먼저 평면 패널 디스플레이에서 테스트 한 후 웨이퍼 (wafer) 로 이동합니다. 스테이지는 자동으로 웨이퍼를 잡고 움직이도록 설계되었습니다. 램프는 자외선 (UV Light) 의 원천이며, 광학 렌즈를 웨이퍼로 통과하는 집중 빔을 생성합니다. "램프 '는 파장 을 넓게 만들어 내어 여러" 포토레지스트' 를 처리 할 수 있다. 포토레시스트 (photoresist) 는 자외선 (UV light) 에 노출되면 이미지를 생성하거나 웨이퍼 서피스에 패턴이나 설계를 생성하는 재료입니다. 광소시스트는 웨이퍼 (wafer) 표면에 적용되고 램프의 자외선 (UV light) 에 노출 된 후, 표면에 결합하거나 씻겨 내고, 원하는 패턴을 생성한다. 개별 구성 요소 외에도 TOKYO ELECTRON MARK-8에는 조절 가능한 노즐 크기, 3 단계 펌프 프로세스, 경험적으로 기반 된 자동 교정 장치 및 냉각수 베이스와 같은 추가 기능이 포함됩니다. 노즐 크기는 최대 6.4mm (6.4mm) 까지 조정할 수 있으므로 패턴화가 더욱 세밀해집니다. 3 단계 펌프 프로세스는보다 효율적이고 균일 한 포토 esist 전달을 제공합니다. 자동 교정은 MARK-8 기계의 최고 수준의 정확성과 반복 성을 보장하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 냉각수 베이스는 잠재적 과열을 줄이기 위해 추가 냉각을 추가합니다. 이러한 기능을 결합하면 Mark 8을 photolithography 및 microcircuit 제작 응용 프로그램에 이상적인 도구로 만듭니다. "웨이퍼 '표면 에" 패턴' 을 신속 하고 정확 하게 생산 하는 능력 을 통해, 항공 우주 및 가전 제품 과 같은 여러 가지 산업 에 사용 될 수 있으며, 고급 전자 "서킷 '의 집적 회로 를 만드는 데 사용 할 수 있다.
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