판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098401
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 (TE TEL MARK8) 은 반도체 산업의 반도체 웨이퍼에 두꺼운 필름을 입금하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. TE TOKYO ELECTRON MARK-8은 스테퍼/스캐너 어플리케이션, 웨이퍼 프로빙, 리소그래피 등 다양한 어플리케이션을 위한 정밀, 자동 및 고속 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 뛰어난 기계적 무결성, 뛰어난 열 안정성, 매우 빠른 응답 시간을 갖도록 설계되었습니다. TE TEL Mark 8은 깨끗한 진공 챔버, 증착 소스 및 컴퓨터 소프트웨어가 포함 된 장치 플랫폼으로 구성됩니다. 이 기계는 진공 환경 (high-vacuum environment) 을 제공하도록 설계되어 진공 실의 웨이퍼에 고품질의 고밀도 필름을 증착 할 수 있습니다. 소스는 열 (thermal) 이나 전자 빔 (electron beam) 과 같은 다양한 유형의 증착 프로세스에 대해 구성 될 수 있습니다. 필름 증착은 컴퓨터 소프트웨어 (프로그래밍 가능한 컨트롤러 (programmable controller) 와 증착 프로세스의 매개변수를 조정하는 알고리즘을 포함) 를 사용하여 정확하게 제어됩니다. TE TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 (TE TEL/TOKYO ELECTRON MARK8) 에는 스펙트럼 데이터를 수집하는 데 사용되는 광학 샘플링 도구가 있으며, 이 도구는 프로세스를 실시간으로 모니터링하는 데 사용됩니다. 이 데이터는 예금 필름 (deposited film) 의 균일성과 정확성을 보장하고, 증착 프로세스의 프로세스 매개변수를 확인하는 데 사용됩니다. 또한 TE MARK8 기능에는 내장 온도 컨트롤러와 고급 자체 모니터링 에셋 (self-monitoring asset) 이 포함되어 있어 프로세스 매개변수가 정확한 공차 범위 내에 유지됩니다. 이것은 기탁 된 필름이 최고 품질과 균일성을 보장합니다. 이 모델에는 프로세스 (process) 를 실시간으로 모니터링하고, 매개변수가 허용 범위 (acceptable range) 밖에 있으면 프로세스를 종료할 수 있는 자동 경보 장비도 있습니다. TE TEL MARK-8은 웨이퍼 프로브 (wafer probing), 리소그래피 (lithography) 및 기타 여러 고급 프로세스를 포함하여 반도체 산업의 많은 응용 프로그램에 성공적으로 사용되었습니다. 자동화된 제어, 정밀 증착, 고품질 결과의 TE MARK-8은 다양한 산업 응용프로그램에 이상적인 시스템입니다.
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