판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098400

텔/도쿄 전자 마크 8 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) 은 반도체 기판에서 회로 패턴을 만드는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "포토리토그래피 '와" 에칭' 기법 을 사용 하여 기판 에 무늬 로 된 금속선 을 만들어 낼 수 있게 한다. photoresist 시스템은 원하는 패턴을 가진 포토 마스크 (photomask) 를 사용하여 유닛에 도입합니다. 첫째, 기질은 스핀 공정을 사용하여 포토 esist 물질로 코팅된다. 그런 다음 기질은 photomask를 통해 UV 빛에 노출됩니다. 이 과정에서 빛은 photo-resist 물질과 상호 작용하여 속성을 변경합니다. 노출 후, 기질은 용매에서 린징되어 노출되지 않은 광사 물질 (photoresist material) 을 제거하거나 노출 된 부분을 남긴다. 포토 esist의 노출 된 부분은 유지되어야하며, 에칭을 위해 "스텐실" 역할을한다. 그 다음 에 "에칭 '과정 을 이용 하여 노출 된" 포토레지스트' 가 남아 있는 지역 의 기판 물질 을 제거 한다. 이렇게 하면 원하는 금속 선 패턴이 생성됩니다. 그런 다음, 금속 전 유전체 증착이 추가되는데, 이는 금속 라인의 절연 물질 층입니다. 이것은 장치 신뢰성을 높이고 etch 부품과 기판 사이의 전기 연결을 제공합니다. 마지막으로, 웨이퍼를 테스트하기 전에 노출 된 포토 esist를 제거해야합니다. 이것은 일반적으로 개발자 솔루션에 ashing 또는 immersing함으로써 달성됩니다. TEL MARK8 (TEL MARK8) 은 기판에 금속 선을 만드는 과정에 다양한 이점을 제공합니다. ··· 그것 은 노출 된 지역 을 기판 의 노출 되지 않은 영역 으로부터 분리 시키기 위한 여러 단계 의 필요성 을 없애, 전체 "프로 '를 보다 효율적 이고 경제적 으로 만들어 준다. 또한 순환 라인의 치수를 정확하게 제어하여 안정적인 장치 성능을 보장합니다 (영문). 요약하면, TOKYO ELECTRON MARK-8 photoresist machine은 기판에 복잡한 금속선 패턴을 만드는 효과적인 도구입니다. '자동화된 프로세스' 와 '정확한 제어' 를 통해 안정적인 디바이스 성능을 보장하여 '전자산업계' 기업에게 귀중한 툴이 되었습니다.