판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098398

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment는 마스크없는 리소그래피 응용 프로그램을위한 고급적이고 고급 시스템입니다. LED 조명을 정확하게 초점을 맞추기 위해 2 차원 발광 다이오드 (LED) 어레이를 주 조명원과 광학 렌즈로 사용하는 새로운 개념을 사용합니다. "미크론 '에서 수" 밀리미터' 에 이르는 특징 의 크기 를 처리 할 수 있으며 "나노미터 '의 등록 정확도 를 쉽게 달성 할 수 있다. 또한 광학 및 전자 빔 저항제 (optical and electron beam resist), 건식 에치 (dry etch) 및 금속화 (metalization) 를 포함한 다양한 광저항 물질과 협력 할 수 있습니다. 이 장치는 광원과 렌즈 공동을 포함하는 광학 헤드 어셈블리 (Optical Head Assembly), LED 공조 모듈 (LED Collimating Module), 디지털 이미지 투영 모듈 (Digital Image Projection Module) 및 광학과 이미징 기판을 공구에 정확하게 배치하는 정렬 머신 (Alignment Machine) 을 포함한 여러 컴포넌트로 구성됩니다. LED (LED) 어레이는 패턴을 저항물질로 패턴화하는 데 필요한 조명을 제공하며, 광범위한 동작 파장 (operating wavength) 을 통해 전례없는 수준의 선형성을 광도로 제공할 수 있습니다. LED 공조 모듈은 전자 작동 밸브 (electronically-actuated valve) 를 특징으로하며, 직접 조명 (direct lumination) 과 확산 광원 (diffused light) 사이의 정확한 전환을 가능하게하여 더 세밀한 기능 적용 범위와 노출 위도를 가능하게합니다. 특수 센서와 이미징 (Imaging) 소프트웨어를 사용하면 한 나노미터 이상의 정렬 정확도를 위해 LED 배열 및 기판을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 디지털 이미지 투영 모듈 (digital image projection module) 은 여러 설정 (예: 펄스 너비 변조, 이미지의 공간 해상도) 을 통해 이미지 강도를 제어하는 데 사용됩니다. 또한 이 모듈을 사용하여 이미징 영역을 확대하거나 줄일 수 있으며, 이미지의 전체 품질을 유지할 수 있습니다 (영문). 에셋은 또한 이미징 기판 및 LED 어레이를 정확하게 정렬하기위한 정렬 모델 (Alignment Model) 을 특징으로하며, 최대 1 나노미터의 피쳐 등록 정확도와 함께 정밀도를 높일 수 있습니다. 정렬 장비는 또한 이미징 기판과 LED 어레이의 위치를 x-y-z 방향으로 측정하기 위해 다양한 프로브 (probe) 와 검출기 (detector) 를 사용하며, 저항 패턴 왜곡을 정확하게 특성화할 수 있습니다. 전반적으로 TEL MARK8은 마스크 없는 리소그래피 어플리케이션을위한 고급 시스템으로, 특유의 어레이 LED (Array LED) 공조 장치 및 디지털 이미지 투영 모듈로, 기능 밀도와 에지 제어가 뛰어나며, 최대 1 나노미터의 노출 정확도가 매우 높습니다. "나노테크놀로지 (Nanotechnology) '애플리케이션에는 정확한 패턴과 구조의 생성에 높은 수준의 정확성과 정확성이 필요하다.