판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098395

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098395
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(2) Coaters / (1) Developer System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment는 다양한 광화학 요구를 충족하도록 설계된 비용 효율적인 다목적 에칭 시스템입니다. 집적 회로, 디스플레이 및 기타 미세 성분 관련 생산 공정, 유전체 필름, 금속 전극 및 기타 포토 esist 재료 응용의 생산에 이상적인 솔루션입니다. TEL MARK8 은 사용자 친화적이고 직관적인 터치스크린 인터페이스를 통해 빠르고 쉽게 프로그래밍하고 결과를 모니터링할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON MARK-8의 효율적이고, 산업용 등급의 전동 플랫폼 및 견고한 기계 구조는 생산성 향상과 일관된 신뢰성을 보장합니다. Mark 8은 고급 전원 제어 및 고급 DC 에칭 기술을 사용하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 저해상도 (LRe) 와 고해상도 (HRe) 의 두 가지 이미징 모드를 사용할 수 있습니다. 두 모드 모두 종횡비가 높은 DC 에칭에 고품질 패턴을 제공하기 위해 설계되었습니다. 컴퓨터 제어 양방향 다이빙 기술도 고정밀도 절단에 사용할 수 있습니다. TEL MARK-8 (TEL MARK-8) 에는 선명하고 정확한 이미지가 생성되도록 정밀 광학 정렬 장치가 장착되어 있습니다. 진공 호환 챔버 (vacuum-compatible chamber) 는 광범위한 온도와 대기에서 사용될 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 에는 먼지 와 대기 오염 물질 로부터 저항 을 보호 해 주는 "벤트 '방패 가 들어 있어 더 깨끗 한" 에칭' 결과 를 보장 해 준다. 이 도구는 에칭 된 기판의 처리량이 높으며, 사용 된 저항제 (resist) 유형을 변경하는 과정을 단순화하는 저항제 리필 (resist refill) 에셋을 갖추고 있습니다. 자동 저항 조정 (Automatic Resist Adjustment) 기능은 저항 유형 간의 차이를 보완합니다. 이 모델은 또한 처리 기판 (processed substrate per hour hours) 의 증가와 결과 속도를 보장하여 생산량을 극대화하고 비용 효율성을 높일 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON MARK8에는 다양한 독점 소프트웨어 및 장비 제어 스위트가 포함되어 있으며, 사용자는 프로세스 요구에 따라 운영 매개변수를 모니터링, 조정, 수정할 수 있습니다. 여러 CDS 기반 소프트웨어 어플리케이션 (예: Tool Assistant) 을 패턴 검사 및 수정에 사용할 수 있습니다. 또한 사용자 정의 레시피 셋업 및 라이브러리 데이터 가져오기/내보내기를 지원하여 유연성을 높일 수 있습니다. TEL의 TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Unit (TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Unit) 은 고급 기능, 산업 수준의 신뢰성, 정확성 및 비용 효율성을 갖춘 포토 esist 재료 응용 분야에 매우 편리한 솔루션입니다.
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