판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098390

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 (TM8) 은 석판 공정에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 광전자는 빛에 민감한 중합체의 한 유형입니다. TM8 (TM8) 은 광원을 이용하여 기판에 패턴을 노출시킨 다음 저항층 (resist layer) 을 원하는 영역에 배치합니다. TM8 (Automated Patterning System) 은 1 미크론 이하의 정확성과 반복성으로 자동화된 처리가 가능한 고급 (Advanced) 설계를 활용하는 자동 패턴 시스템입니다. 이 장치는 사전 노출, 노출 및 노출 후의 3 단계 패턴을 사용합니다. 노출 전 단계 (pre-exposure stage) 는 스테이지 이동 기계를 사용하여 와퍼를 카세트에서 공구 내의 정렬 단위로 이동합니다. 정렬 에셋은 레이저를 사용하여 노출 프로세스에 대한 웨이퍼의 정확한 위치를 확인합니다. 노출 단계는 광원을 기판에 투영하는 것입니다. TM8은 고강도 UV 발광기 (Light Emitter) 를 사용하여 정렬 정확도로 높은 처리량 결과로 웨이퍼를 패턴화합니다. "포토레시스트 '는 노출 과정 앞 에 적용 된 다음, 빛 은 원하는 영역 에 있는 저항성 물질 을 활성화 시킨다. 노출 후 단계 (post-exposure stage) 는 포토 esist 레이어를 건조시키는 데 사용되는 베이킹 모델로 구성됩니다. 베이킹 장비는 또한 레이어에 경도를 제공합니다. 그런 다음 추가 프로세스 단계에 대해 저항이 등록됩니다. 전반적으로, TEL MARK8은 photolithography 응용 프로그램에 강력하고 정확한 패턴을 제공하도록 설계된 강력한 photoresist 시스템입니다. 자동화된 기능은 빠르고 안정적인 노출 프로세스를 제공하며, 반복 가능하고 정확한 결과를 제공합니다. TM8은 직경이 최대 300mm인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TM8은 반도체 제조업체와 집적 회로 제조 설비를 위한 비용 효율적인 도구입니다.