판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098385

ID: 9098385
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Coarter / (3) Developer system, 8" 6 HP (4) CP WEE (4) 2-1 RRC EBR Stepping E2 Komatsu THC C/B I/F LtR 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 고급 반도체 장치 처리에 사용하도록 설계된 완전 자동 포토 esist 장비입니다. 리토 그래피, photolithography, wafer cleaning 및 기타 photomask 처리 작업과 같은 응용 프로그램에 적합합니다. 이 시스템은 포커스를 조정하고 포토리스 (photoresist) 표면에 정렬하여 노출 매개변수를 정확하게 제어하는 완전 자동화된 옵티컬 암 (optical arm) 과 CCD 카메라를 갖추고 있습니다. 여러 위치에서 포토마스크 (photomask) 의 이미징 성능을 측정할 수 있는 고해상도 디지털 카메라가 장착됐다. 또한, 이 장치에는 다양한 유형의 photomask에서 성공적인 장치 처리를 위해 사용자 정의 스캔 그레인 크기 제어 머신 (custom scan grain size control machine) 이 있습니다. 이 도구는 프로세스 제어 및 일관성을 갖춘 고급 반도체 장치 처리를 위해 설계되었습니다. 실험을 빠르게 설정하고, 매개변수를 조정하고, 진행 상황을 모니터링할 수 있는 사용자 친화적 제어 인터페이스가 있습니다. 또한, 자산에는 최적의 성능을 보장하기 위해 예측 유지 관리 (Predictive Maintenance) 를 수행하기 위한 통계 품질 제어 모델이 있습니다. TEL MARK8 photoresist 장비는 높은 노출 균일성과 수직으로 정렬 된 결과를 제공하여 프로세스 생산량을 보장하고 photomask 수명을 연장합니다. 또한, 모든 photoresist와의 호환성은 최대의 유연성을 보장하며, 사용자는 다양한 기판과 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 저압, 저진공 처리 기능은 안전하고 효율적인 작동을 제공하여 기판 또는 포토 마스크 손상의 위험을 최소화합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON MARK-8 포토 esist 시스템은 고급 반도체 장치 처리를 위해 설계되었습니다. 높은 수준의 노출 균일성 및 노출 제어를 제공하여 프로세스 생산량 및 photomask 수명을 보장합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 모든 포토 esist와의 호환성, 저압, 저진공 처리 기능이 안전하고 효율적인 작동을 제공합니다.
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