판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098383

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 반도체 웨이퍼에 정밀 미세 곡선을 만들도록 설계된 포토 esist 처리 장비입니다. 그것 은 반도체 "칩 '에 있는 아주 작은 장치 들 을 무늬 로 만드는 데 사용 되는 광저항 층 의 노출, 확산, 식각 을 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. TEL MARK8은 광마스크 (light mask) 로 구성되며, 포토 esist 필름을 UV 라이트에 노출시켜 광 esist 모양을 형성하는 데 사용됩니다. 그 후, 두 개의 확산 용광로 (diffusion furnace) 가 있으며, 노출 된 필름을 요리하여 보호되지 않은 영역을 해산하고 원하는 패턴을 만듭니다. TOKYO ELECTRON MARK-8에는 기본 기판에 패턴을 에칭하기위한 2 개의 시스템도 포함되어 있습니다. 첫 번째 방법 은 "콘택트 패드 '와 다른 깊은 전기 구조 를 만드는 데 흔히 사용 되는 깊은" 트렌치' 를 식각 할 수 있다. 두 번째는 포토 esist 필름 자체를 에치하여, 원하는 위치에 기본 기질을 노출시킵니다. photoresist 시스템의 다른 특징으로는 침착에 저항하기 전에 입자를 제거하는 화학 및 기계 스크러빙 장치 (chemical and mechanical scrubbing unit), 탈이온화 된 물 욕조 (deionized water bath) 및 처리 후 장치 패턴을 검사하기위한 2 개의 장치가 있습니다. 첫째는 고배율 (High Magnification) 에서 패턴을 검사할 수 있는 현미경 (Microscope) 부착물이고, 둘째는 전압을 장치를 가로질러 제대로 작동하도록 던지는 전기식 테스터 (Tester) 다. 요약하면, MARK8은 노출, 확산 및 에칭에 대한 정확한 제어를 통해 정확한 미세 회로 장치를 만들 수있는 포괄적 인 포토 esist 처리 기계입니다. 이 도구는 전 세계 최신 칩 제작 플랜트의 핵심 구성 요소이며, 고품질 반도체 (HPC) 부품을 만드는 데는 신뢰성과 정확성이 필수적입니다.