판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9090357

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 집적 회로 패턴화에 반도체 산업에서 사용되는 포토 esist 장비입니다. 전자동 시스템 (Fully Automated System) 으로 다양한 저항을 증착, 노출, 개발할 수 있습니다. TEL MARK8은 저항과 패턴화 될 다른 재료를 수용하는 챔버로 구성됩니다. 이 약실 은 "웨이퍼 '단계 에 연결 되어 있는데, 이것 은 무늬 처리 중 에" 웨이퍼' 를 보유 한다. 저항과 재료는 수직 인젝터 유닛을 통해 챔버에 도입됩니다. 그런 다음 평평한 증착 공정을 사용하여 웨이퍼 표면에 분포합니다. 필요한 경우 스핀 코팅 방법을 사용하여 재료를 분배 할 수도 있습니다. 일단 저항과 다른 재료가 웨이퍼에 배치되면, TOKYO ELECTRON MARK-8은 포토리스 (photoresist) 패턴 작성 과정을 시작할 준비가되었습니다. 이 과정은 웨이퍼를 자외선 광원에 노출시켜 시작합니다. 광원의 강도는 조절이 가능하여 웨이퍼 (wafer) 표면에 다른 패턴을 생성할 수 있습니다. 노출은 단일적으로 수행 될 수 있거나, 다중 노출이 결합되어 더 복잡한 패턴을 형성 할 수있다. 노출 후 에, "레지스트 '는 용액 의 도움 으로 개발 되며, 필요 하다면 용제 를 사용 하여" 웨이퍼' 표면 에서 어떤 잔류 도 제거 할 수 있다. 이것은 MARK8에 의해 만들어진 정확한 패턴 뒤에 남습니다. TEL Mark 8에서 만든 패턴을 사용하여 효율적인 집적 회로 장치를 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK8 (TOKYO ELECTRON MARK8) 은 신뢰성이 높고 정밀한 기계이며, 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하여 반도체 제조업체에게는 매력적인 옵션입니다. 첨단 집적 회로 (advanced integrated circuit) 를 만드는 데 적합한 복잡한 패턴 (pattern) 을 만들 수 있습니다.