판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293761366

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 293761366
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Developer system, 8" (2) Spin units (6) Hot plates (2) Cool plates Loader type: Index Process type: L-Type (2) Develop spin unit (Spin chuck: 80Φ) Develop unit: Stream nozzle, Top rinse, Back rinse 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 반도체 레이어 형성 및 장치 제조 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. TEL MARK8은 컴퓨터 제어 시스템 (computer-controlled system) 을 사용하여 포토 esist 및 레이어 형성 프로세스의 빛 노출을 최적화합니다. 이 장치는 광원, photoresist 및 light exposure 제어, 레이어 형성 및 웨이퍼 정렬을위한 광학 기계, 도구에서 웨이퍼를 로드 및 언로드하기위한 자동 카세트-카세트 핸들러를 통합합니다. 도쿄 전자 MARK-8 (TOKYO ELECTRON MARK-8) 의 광원 (Light Source) 은 매우 낮은 것에서 매우 높은 것까지 광범위한 광도를 제공 할 수 있으므로 웨이퍼 광 노출을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 광학 자산도 레이어 형성을 위해 장치에 통합됩니다. 이 모델은 고해상도 스테이지 이미징 카메라를 사용하여 웨이퍼를 레이어 형성 다이 (die) 세트에 맞추고 정렬합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8의 카세트-카세트 (Cassette-to-Cassette) 핸들러는 대부분의 표준 카세트 크기를 지원하여 장비에서 웨이퍼를 자동으로 적재 및 언로드할 수 있습니다. TEL Mark 8에는 웨이퍼의 광 노출 패턴을 정확하게 제어 할 수있는 Advanced Light Exposure Control이 있습니다. 이 고급 조명 노출 제어 (Advanced Light Exposure Control) 는 MARK8 시스템 자체에 통합되어 각 다이의 광도 및 노출 시간을 예측할 수 있습니다. 또한 실시간 데이터 획득 및 디스플레이 기능을 갖춘 프로세스 모니터링 장치 (process monitoring unit) 를 통해 사용자는 필요에 따라 기계의 광 노출 (light exposure) 매개변수를 즉시 조정할 수 있습니다. 요약하면, MARK-8은 고품질 반도체 소자를 생산하기 위해 레이어 형성 및 장치 제작 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 안정적이고 효율적인 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 고급 광 노출 제어, 웨이퍼 정렬을위한 광학 자산, 자동 카세트 대 카세트 처리기는 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8에서 최고 수준의 정확성과 속도를 보장합니다.
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