판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293751439

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 멀티 레이어 웨이퍼 생산을 위해 설계된 "포토 esist" 장비입니다. 이 시스템은 최신 프로젝션 광학 및 프로그래밍 빔 데노이징 기술을 사용하여 3 축 정렬 단계를 기반으로합니다. TEL MARK8 은 매우 구성 가능한 장치로, 은행당 최대 32 개의 시스템을 수용할 수 있습니다. 다중 레벨 채널 시스템을 통해 TOKYO ELECTRON MARK-8은 매우 복잡한 응용 프로그램 및 프로세스에 유연한 웨이퍼 관리 기능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8은 자동 마스킹 및 플레이트 카세트 머신을 사용하여 완전한 패턴 저항, PR 마스크 및 에칭 저항 응용 프로그램을 제공합니다. 이 도구의 고전압 공급 장치, 통합 스테퍼 모터 및 필터 컨트롤러는 또한 최상위 응용 프로그램 및 프로세스 안정성을 용이하게합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8은 차세대 리소그래피 애플리케이션의 신속한 프로토 타이핑 및 빠른 생산의 도전을 충족하도록 설계되었습니다. 이 자산은 최첨단 광학, 프로세스 제어 및 프로그래밍 기술을 사용하여 탁월한 투영, 해상도 및 패턴 반복성을 달성합니다. 마크 -8 (MARK-8) 은 별도의 노출 챔버 (Exposure Chamber) 와 레이저 다이오드 (Laser Diode) 를 갖춘 경량 관리 설계에서 매우 효율적이므로 노출 시간을 줄이고 뛰어난 화질을 제공합니다. 또한, 이 모델은 전용 빔 데노이징 필터를 사용하여 사용자가 최소한의 왜곡으로 더 엄격한 패턴 충실도를 달성 할 수 있습니다. TEL Mark 8에는 자동 간격 인식 장비, 자동 비교 시스템 (Automated Comparison System), 안전 모니터 (Safety Monitor) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 안전 모니터 (Safety Monitor) 는 장치가 원하는 작동 창에서 실행되고 있는지 확인하고, 결함 조건이나 과도한 입자 배출이 감지되면 종료합니다. Mark 8 은 시스템당 최대 8 개의 작업, 단일 카트리지에서 최대 4 개의 작업을 수행할 수 있는 구성 가능한 플랫폼을 제공합니다. 이러한 기능을 통해, 이 툴은 탁월한 수준의 프로세스 효율성과 반복성을 제공하도록 설계되었으며, 차세대 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 충족하는 이상적인 플랫폼을 제공합니다.