판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293690383

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8은 TEL Limited에서 개발 한 포토 esist 장비로, 반도체 생산 분야의 웨이퍼 제작에 주로 사용됩니다. 웨이퍼 코팅 (wafer coating), 웨이퍼 개발 (wafer development), 에칭 (etching) 과 같은 다양한 포토리스 처리 단계를 처리 할 수있는 종합적인 시스템입니다. TEL MARK8 장치는 직접 드라이브 "Kinematics Driven" 코팅 로터를 특징으로하며, 이는 고정밀도, 저결함 및 공정 수율을 허용합니다. 코팅 로터의 움직임은 정확하고 안정적인 프로세스를 위해 운동학적 능동 포지셔닝 메커니즘을 갖춘 고속, 고효율, 고안정성 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 에 의해 제어됩니다. 온보드 온도 수준 모니터링은 높은 품질과 안정적인 작동을 보장합니다. 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능이 포함되어 있어 실제 프로세스 균일성을 최적화할 수 있습니다. 이 기계는 기존의 웨이퍼 (wafer) 유형과 특수 웨이퍼 (specialty wafer) 유형과 같은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 제공하며 고객의 고유한 요구를 충족할 수 있는 다중 방향 레이아웃도 지원합니다. TOKYO ELECTRON MARK-8은 미세하게 제어 된 최적화 된 공정 매개변수를 사용하며, 이를 통해 광저장제의 정확도는 ± 1jm입니다. 첨단 알고리즘 기반 제어 기술은 장기적인 실행에 걸쳐 지속적인 처리 품질 및 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 센서 제어 옵틱 (optic) 과 드라이브 위치 제어 (position control) 를 사용하여 웨이퍼에 걸쳐 일관되고 평평한 옵티컬 필름을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8은 편리한 작동을 위해 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. "레시피 (recipe)" 유형의 작업을 통해 사용자 친화적 인 메뉴와 그래픽을 자랑하여 한 버튼을 처리하여 작업을 크게 단순화합니다. 안전 자산 (Safety Asset) 은 높은 자동 작동을 지원하여 안전 사고 (Safety Hazard) 를 파악하고 안전하고 안전한 작업 환경을 보장합니다. MARK-8은 접촉 저항 도금, 범핑 (bumping), 박막 증착 (thin film deposition) 과 같은 고급 반도체 처리 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 고급형 반도체 부품의 생산에는 "낮은 결함 비율 '과" 높은 정확도' 가 있다. 따라서 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8은 업계에서 가장 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 시스템 중 하나입니다.