판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293626805

ID: 293626805
빈티지: 1997
Coater / (2) Developer system 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment는 반도체 회로 부품 생산에 사용되는 석판 시스템입니다. 통합 제어, 고급 진단 및 모니터링 (Advanced Diagnostics and Monitoring), 고급 자동화 장치 (Advanced Automation Unit) 가 장착되어 각 프로덕션의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 머신에는 공구 매개변수를 쉽게 조작할 수 있는 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있습니다. 에셋은 자외선 방사 (photoresist material) 를 자외선 방사 (photoresist film) 에 노출시키도록 설계되었으며, 이는 광 마스크 패턴과 결합하여 장치의 패턴을 결정합니다. 이 과정은 종종 미세 석판화 장치 (fine line lithography) 를 이미징 및 에칭하는 데 사용됩니다. 또한 마스크 없는 정렬 모델 (maskless alignment model) 이 있는데, 이 모델은 노출 중에 웨이퍼를 수평으로 정렬하고 좋은 장치의 수율을 늘리도록 설계되었습니다. TEL MARK8 Photoresist Equipment는 2.3 미크론에서 3.8 미크론의 높은 광학 해상도를 가지고 있으며, 이는 photoresist 필름의 기능을 노출시키는 높은 정확성을 제공합니다. 또한 8 배 이상의 속도로 장치를 패턴화하여 처리 시간을 단축시킬 수 있습니다. 6 인치 및 8 인치 웨이퍼 크기도 지원할 수 있습니다. 시스템에는 또한 장치 외부의 결함 또는 주변 조건을 기록하는 입자 검출기 (particle detector) 가 있습니다. 이 작업은 장치의 성능을 유지하고, 서비스 수명을 연장하기 위해 수행됩니다. 또한 가스를 최소화하여 노출 중 필름의 오염을 방지하는 특별한 광학 (optics) 이 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-8 포토레시스트 머신 (Photoresist Machine) 에는 렌즈의 초점 길이를 자동 조정하여 성능 향상을 위해 특별히 설계된 자동 초점 도구가 있습니다. 또한 기판의 각 층에 대한 방사선 용량을 자동으로 조정하는 자동 용량 (auto-dose) 메커니즘이 있습니다. 이것 은 "에너지 '의 적절 한 양 을 각 층 의 기판 에 적용 시킨다. 또한 TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Asset에는 반복 가능하고 안정적인 성능을 제공하는 매우 정확한 웨이퍼 스테이지 및 고급 소프트웨어 도구가 있습니다. 이는 생산 결과가 일관되고 반복 가능하며, 반도체 (semiconductor) 디바이스를 만드는 중요한 프로세스에 더 높은 수준의 신뢰성을 제공합니다. 전반적으로 Mark 8 Photoresist Model은 반도체 산업의 석판 공정에 이상적인 도구이며, 생산 라인에 대한 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다.
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