판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D #9290537

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 2D
ID: 9290537
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 2D Photoresist Equipment는 다양한 기판의 집적 회로의 토대가 될 패턴과 구조를 만드는 데 사용되는 화학, 기계 및 광학 시스템입니다. 이 장치는 여러 노출 레이어 (multiple exposure layer) 를 생성하고, 이 레이어가 생성하는 패턴의 미세한 구조를 여러 레벨로 제어할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. 기계의 중심에는 UV 레이저 이미저 (UV Laser Imager) 가 있으며, 기판 표면을 매우 정확하게 변경할 수 있습니다. 레이저 이미저 (laser imager) 는 기판의 저항 물질의 에칭 및 증착을 제어 할 수있는 프로그래밍 가능한 위상-시프트 마스크와 결합된다. 이러한 컴포넌트를 결합하면, 연산자가 photoresist 도구를 사용하여 기판 서피스에 형성되는 패턴의 형상을 정확하게 제어할 수 있습니다. 패턴 처리 과정에 대한 제어를 극대화하기 위해 TEL Mark 8 2D Photoresist Asset에는 2 개의 정밀 도량형 시스템 (접촉 근접 현미경과 전체 표면 패턴 관리자) 이 포함되어 있습니다. 마이크로미터 범위. 이를 통해 연산자는 포토리스 (photoresist) 패턴 처리 과정이 완료 전, 중, 후에 미치는 영향을 정확하게 볼 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 더 높은 수준의 세부 (detail) 를 생성하거나 선택적으로 표면을 강화하기 위해 추가 저항 (resist) 레이어를 표면에 배치하는 기능 (물리적 처리 또는 개별 또는 여러 개의 다른 재료 사용) 이 포함됩니다. 이를 통해 연산자는 단순 선 (simple line) 과 커브 (curve) 에서 패턴 (pattern) 이나 장치 (device) 에 이르기까지 복잡도가 다양한 구조를 생성 할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON Mark 8 2D Photoresist Equipment에는 패턴 기하학 브로커와 운동학 모델러도 포함되어 있으며, 둘 다 photoresist 패턴 프로세스의 변환 및 렌더링 측면에 대한 고급 제어 수준을 제공합니다. 또한, 3D 모델러는 연산자가 짧은 시간에 여러 개의 복잡한 패턴을 만들 수 있도록 합니다. 궁극적으로 Mark 8 2D Photoresist System (Mark 8 2D Photoresist System) 은 포괄적이고 신뢰할 수있는 단위로, 정밀도가 높은 광범위한 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 기계 (mechanical), 화학 (chemical), 광학 (optical) 부품의 조합으로, 기계는 연산자에게 회로 설계에 필요한 패턴을 만드는 데 궁극적 인 제어를 제공해야합니다.
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