판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9410903

ID: 9410903
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment는 산업 및 학술 응용을 위해 설계된 예술 포토 esist 시스템의 상태입니다. 이 장치는 마이크로 전자 장치의 고효율 생산을 가능하게합니다. TEL MARK7 기계는 고급 렌즈 디자인, 3D 프로젝션 광학 및 최대 70mm 기판을 지원할 수있는 넓은 활성 영역으로 구성됩니다. 이를 통해 Resist Blanket에 패턴을 매우 정확하고 정확하게 인쇄 할 수 있습니다. 이 도구의 광학은 확장 된 수치 조리개가있는 반음계로 교정 된 meniscus lens 디자인을 특징으로합니다. 이렇게 하면, 얇은 패턴을 기판에 인쇄할 때 수차 감소, 왜곡 감소 등이 가능합니다. 이 에셋에는 고출력 레이저 다이오드 (Laser Diode) 가 장착되어 있어 프로젝터 렌즈에 조명을 제공하는 좁은 광섬유 (Optic) 모델이 특징입니다. 이 방법 은 광원 "에너지 '의 흡수 를 더 높여 주므로, 기판 에 인쇄 된" 패턴' 의 정확도 를 높인다. TOKYO ELECTRON MARK-7 장비는 유연하고 다양한 기판 크기와 두께를 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 정렬 메커니즘은 최소 폐기물로 정확한 패턴화를 허용합니다. 수직 "모듈 '의 높이 는 쉽게 조정 할 수 있으며, 단일 기판 에 여러 층 의" 패턴' 을 놓을 수 있다. 또한, 카메라 시스템은 인쇄 품질에 따라 자동으로 조정됩니다. 마지막으로, 이 장치는 모듈성이 뛰어나 설치 및 유지 보수가 용이합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 사용이 간편한 전면 패널 (front panel) 로 설계되었으며, 일괄 실행을 시작하기 전에 운영자가 원하는 기판 크기와 품질을 위해 기계를 빠르게 설정하고 보정할 수 있습니다. Mark 7 Photoresist Tool은 산업 및 학술 photoresist 응용 프로그램을 위해 안정적이고 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스와 결합된 고급 옵틱 (optic) 과 렌즈 (lens) 디자인은 다양한 크기의 기판에 매우 정확하고 정확한 패턴 인쇄를 제공합니다. 자동 카메라 에셋, 조정 가능한 모듈 높이, 손쉬운 유지 관리 기능을 통해 TOKYO ELECTRON Mark 7 모델은 매우 정확한 포토레시스트 생산에 매우 효과적인 솔루션이라는 것이 분명합니다.
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