판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9364579
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 정밀 석판화를 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 텔 (TEL) 이 개발 한이 제품은 마이크로 일렉트로닉 회로 (microelectronic circuit) 제조에 사용되는 광전자학 프로세스의 정확성과 효율성을 높이기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 스캐닝 장치 (advanced wafer scanning unit) 를 사용하여 기판에 포토리스 이미지 (photoresist image) 를 정확하게 노출시킵니다. 이것 은 "와퍼 '를 가로질러 빠르게 움직 이는" 스캐너' 머리 를 통해서 광선 을 방출 한다. 광선 은 "스캐너 '" 렌즈' 의 "슬릿 '을 통해 감광 층 을 정확 하게 노출 시킨다. TEL MARK7 (TEL MARK7) 은 또한 광선의 주파수와 진폭을 정확하게 제어하는 고성능, 육각형, 좌표 드라이브 머신을 갖추고 있습니다. 또한, 포토 esist 노출 및 개발 프로세스 동안 기판을 보호하기 위해 완전히 자동화 된 도구가 특징입니다. 이 에셋은 또한 다양한 응용 프로그램의 모델을 사용자 정의하는 데 사용할 수있는 다양한 옵션 (옵션) 을 제공합니다. 스테이지 기울기, 노출 시간, 노출 용량, 스캔 속도, 스캔 각도, 기판 크기 및 유형의 다양한 구성으로 구성 할 수 있습니다. 또한 고급 스캐닝 장치 (Scanning Device) 및 기타 모듈을 장착하여 정확도와 처리량을 더욱 높일 수 있습니다. 마지막으로 TOKYO ELECTRON MARK-7은 높은 수준의 안전성으로 설계되었습니다. 과잉 노출 방지를 위한 자동 안전 기능 (Automated Safety Function) 이 포함되어 있으며, 프로세스 안전을 보장하기 위해 포괄적인 경고 및 인터 록이 제공됩니다. 또한 TOKYO ELECTRON 글로벌 지원 네트워크의 유지 보수 및 지원을 제공합니다. 전반적으로, MARK-7은 정밀 석판 공정의 정확성과 처리량을 높이도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고성능, 육각형 좌표 드라이브 시스템, 맞춤형 (customizable) 옵션을 통해 다양한 어플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 포괄적 인 안전 장치가 있으며 TEL/TOKYO ELECTRON 글로벌 지원 네트워크에서 지원됩니다.
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