판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352784

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment는 마이크로 전자 장치의 제조에 사용되는 최첨단 고해상도 포토 리토 그래피 도구입니다. 첨단 사진 해설법 (Advanced Photolithography) 을 활용하여 소규모로 정확한 전자 회로를 생성하는 생산 품질 도구입니다. 이 시스템은 광학, 배경 조명 노출, 이미지 패턴 기술 등의 복잡한 조합을 사용합니다. 가공을 위해 표본을 정전기적으로 결합 할 수있는 350mm 너비 x 350mm 심층 기판 척이 있습니다. 이 장치는 또한 넓은 온도 범위에서 제어 가능한 가열과 냉각 (cooling) 을 가능하게하므로 다양한 기판 처리에 대한 다재다능성을 극대화합니다. 이 기계에는 RPCA (Reticle Preview Correlative Analysis), X-Y 단계 이동 제어, Spin End, Edge Treatment 및 PEB (Post Exposure Bake) 와 같은 고급 프런트 엔드 처리 기능이 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 고화질 (Fidelity) 및 최소 결함이 있는 패턴화된 이미지를 안정적으로 생성할 수 있습니다. TEL MARK7에는 모니터링 및 데이터 분석을위한 고급 소프트웨어도 있습니다. 첫째, LSIMS (Laser Source Image Measurement Tool) 는 컨텍스트에 민감한 측정 및 실시간 프로세스 모니터링에 사용할 수 있습니다. 또한 EOC (Electro-Optical Calibration) 가 포함되어 있어 광학 모델을 교정하여 자산의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 또한 RIA (Residual Image Analysis) 기능을 사용하면 인쇄된 이미지의 사소한 오류나 결함을 자동으로 감지할 수 있습니다. 장비에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 오류 없이 효율적으로 작업할 수 있습니다. 또한 모듈식 설계를 통해 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있으므로 다운타임 (down-time) 을 줄이고 프로세스 흐름을 개선할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 은 중소형 전자 부품과 탁월한 정확도와 기능을 생산할 수 있는 신뢰성이 뛰어난 시스템입니다.