판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352304

ID: 9352304
System.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 마이크로 가공을 위해 웨이퍼를 준비하는 스캐닝 포토 esist 장비입니다. 이 도구 는 "반도체 '회로 를 만들기 위해 표면 층 을 공급 하는 데 필수적 이며, 특히 현대 의 전자 장치 의 제조 에 유용 하게 되었다. TEL MARK7 시스템은 일반적으로 웨이퍼에 포토 esist 필름을 배치하는 데 사용됩니다. 이 photoresist 레이어는 photolithography, etching 및 deposition과 같은 후속 처리 단계에 필요한 패턴을 정의하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 장치는 컴퓨터 제어 스캐닝 슬릿 (scanning slit) 메커니즘을 사용하여 포토 esist를 롤에서 웨이퍼 표면으로 전달합니다. 광원 을 사용 하여 기판 과 광전자 (photoresist) 를 수직 으로 비추는 반면, 슬릿 (slit) 기구 는 수평 으로 작동 하여 광전자 (photoresist) 를 전체 웨이퍼 에 골고루 증착 시킨다. 이 과정은 얇은 photoresist 레이어를 수용하도록 최적화 될 수 있습니다. MARK7 은 또한 내장형 비전 머신 (vision machine) 을 통해 추가 제어 및 로컬 결함을 감지하기 위한 스캐닝 기능을 제공합니다. 마크 7 (Mark 7) 의 포토 esist는 슬릿 메커니즘의 뛰어난 정밀도로 인해 매우 정확합니다. 이렇게 하면 웨이퍼에 필요한 패턴의 균일성이 보장됩니다. 또한, 이 도구는 높은 용량 정확도를 제공하며, 넓은 슬릿은 단일 노즐 에셋 (nozzle asset) 에 의해 달성 된 것보다 포토 esist의 정확한 증착을 가능하게한다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Mark 7은 웨이퍼 처리에 효과적인 솔루션입니다. 첨단 기술은 정확한 포토 esist 커버리지를 보장하며 뛰어난 두께 제어를 제공합니다. 고품질 반도체· 전자장치 생산의 균일성과 정확성을 보장한다.
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