판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9247370
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 사진 식각 전자 부품 개발에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고도의 DUV (Deep Ultraviolet) 리소그래피 기술을 사용하여 소형 장치 및 기판에서 높은 화면 비율, 고해상도 기능을 생성합니다. TEL MARK7 장치 (TEL MARK7 unit) 는 높은 정확도와 정확도가 요구되는 전자 부품의 개발을 위해 안정적이고 비용 효율적인 도구인 것으로 입증되었습니다. 기계 (photoresist) 또는 레지스트 코팅 (resist coating) 을 사용하면 사진 에치 공정에 대한 올바른 파장의 방사선에 노출됩니다. 방사선 은 "도구 '에 내장 된 근원 이나 외부 광원 (예:" 레이저') 에 의하여 제공 될 수 있다. 그 다음 광전물질 은 화학 반응 을 하고, 빛 에 노출 된 부위 에서 굳어진다. 개발 후, 강화 된 포토 esist는 기판 위의 보호 레이어 역할을하여, 원하지 않는 영역에서 에칭을 방지합니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 자산에는 최대 4 미크론 깊이의 8 인치 스캐닝 헤드가 포함되어 있습니다. 1 미크론 (micron) 까지 해상도를 생성 할 수 있으며 패턴 된 피쳐를 제어하기 위해 다양한 노출 매개변수 세트를 제공합니다. 이 모델은 정확도 및 처리량 향상을 위해 동시에 노출 (imposure) 및 개발 (development) 프로세스를 수행할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 장비에는 고급 사전 검사 (pre-inspection) 기능이 포함되어 있으며, 이를 통해 필요한 빛에 노출되기 전에 포토 esist를 테스트 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 초기에 발생 가능한 오류를 신속하게 파악할 수 있고, 결함의 위험을 줄일 수 있습니다 (영문). TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 시스템은 생산 시간을 향상시키고 전체 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치는 많은 기판 및 재료와 호환되며, 광범위한 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 기계의 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용하기 쉽고 전체 포토레시스트 (photoresist) 개발 프로세스 전반에 걸쳐 포괄적인 지원 및 지원을 제공합니다.
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