판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9247338

ID: 9247338
빈티지: 1994
System 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 전자 부품의 대량 생산에 사용되는 고도의 포토 esist 처리 장비입니다. 기존 프로덕션 라인에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 포토레지스트 (photoresist) 레이어의 크기나 위치를 빠르고 정확하게 변경할 수 있습니다. 이 시스템은 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 노출 도구, 마스크 도구 및 전송 도구입니다. 노출 도구 (Exposure Tool) 는 정확하게 설계된 패턴을 가져와 포토레스 레이어로 전송하여 원하는 결과를 생성합니다. 그런 다음 마스크 도구 (Mask Tool) 를 사용하여 포토리스 시프트 (photoresist shift) 를 단계별로 배치하여 프로세스 전체에서 패턴의 정확한 위치를 유지합니다. 전송 도구 (transfer tool) 는 photoresist 레이어에서 컴포넌트로 패턴을 전송하여 프로세스를 완료하는 것입니다. 이 장치에는 두 가지 노출 모드도 있습니다. 첫 번째는 단일 모드 (single mode) 라고하며, 여기서 photoresist 레이어는 한 번만 노출됩니다. 이를 통해 정확도가 매우 높은 비교적 간단한 패턴과 설계를 만들 수 있습니다. 두 번째 모드는 반복 노출 모드 (reposure exposure mode) 라고하며, 여기서 photoresist 레이어는 원하는 모양이나 디자인이 달성 될 때까지 반복되는 노출 패턴을 거칩니다. 이 모드를 사용하면 더 복잡한 디자인 패턴 (design pattern) 을 생성하여 패턴의 크기와 모양을 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 내장된 자체 진단을 통해 빠르고 쉽게 문제를 해결할 수 있습니다. 이 도구는 어떤 오작동도 감지할 수 있으며, 손상되기 전에 사용자에게 경고를 줄 수 있습니다. 따라서 사용자는 운영 프로세스를 중단 없이 유지할 수 있습니다. 이 "에셋 '은 또한 인상적 인 기능 의 배열 외 에도 사용 하기 가 매우 쉬우며, 단지 최소한의" 오퍼레이터' 훈련 을 요한다. 따라서 교육 비용뿐만 아니라 전반적인 사용자 생산성도 향상됩니다. 전반적으로 TEL MARK7 (TEL MARK7) 은 대용량 생산에 이상적인 안정적이고 매우 정교한 포토리스 처리 모델입니다. 이 제품은 사용 편의성 (Euse of Use) 과 유지보수 (Maintenance) 기능과 더불어 빠르고 정확한 포토레지스트 (Photoresist) 처리가 필요한 생산 라인에 이상적인 솔루션으로 자리잡았습니다.
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