판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244882

ID: 9244882
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
System, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조 산업에서 사용하도록 설계된 고정밀 광석기 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 전자 기기를 제작하는 데 사용되는 전통적인 사진 (photolithography) 프로세스의 고급 버전입니다. 포토리스 (photoresist) 기술과 다양한 통합 프로세스를 결합하여 다양한 재료에서 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 이미지 인쇄 및 레이어 형성을 제공합니다. TEL MARK7 포토 esist 유닛은 정확하고 반복 가능한 노출을 보장하기 위해 특수 이미징 광원과 함께 제공되며, 이는 각 샷마다 동일한 해상도와 충실도를 지속적으로 생성합니다. 이미징 광원은 수은 요오드화물 램프 (mercuric iodide lamp), 흑백 석영 필름 (monochrome quartz film) 및 긴 광학 경로를 포함하여 다양한 광학 요소를 통합하여 전체 분야에서 일관된 이미징을 유지하면서 다양한 노출 각도를 허용합니다. 기계 에는 "이미징 렌즈 '를 기판 의 표면 위 로 정확 하게 움직 이는" 스테퍼' 도 들어 있다. 또한, 이 도구에는 세밀한 선, 점, 복잡한 패턴을 노출 할 수있는 특수 이미지 절삭 레이저 (image-cutting laser) 가 장착되어 있습니다. 레이저는 Nd: YAG 재료로 구성되며, 노출 시퀀스를 정확하게 제어 할 수있는 회전 드라이브를 포함합니다. 또한 레이저에는 고정밀 해상도 절단이 가능한 자동 초점 에셋이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 포토 esist 모델은 노출률이 매우 낮아 각 노출에 대해 일관되고 정확한 결과를 제공합니다. 또한, 이 장비는 통합 피드 앤 패스 (feed-and-pass) 메커니즘을 통해 일련의 절차 규칙을 따르도록 설계되었으며, 이는 운영자 오류의 위험을 실질적으로 줄여줍니다. 이 기계는 자동 노출 시퀀스 (automated exposure sequence) 를 수행할 수도 있으며, 보다 빠르고 표준화된 운영 시간을 제공합니다. 전반적으로 MARK7 포토리스 (photoresist) 시스템은 일관되고 정확한 결과를 낼 수있는 신뢰할 수있는 고정밀 이미징 장치입니다. 이 기계는 정확도, 해상도, 반복성을 향상시킬 수있는 많은 기능을 제공하여 반도체 (semiconductor) 및 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 업계에서 사용하기에 이상적입니다.
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