판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9242345

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 고성능 집적 회로 패턴과 웨이퍼 처리를 가능하게 하는 초정밀, 초고속, 저비용 리소그래피 기능을 제공하는 차세대 Photoresist Equipment입니다. TEL MARK7 시스템은 오늘날 까다로운 반도체 제조 요구를 충족하기 위해 고급 회로 설계 (Advanced Circuit Design) 및 가장 첨단 처리 기술을 지원하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7은 최신 확산 조명 기술을 사용하여 매우 선명하고 정확한 패턴화 및 전면 정렬을 제공합니다. 이 장치에는 고성능 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 가 장착되어 있어 전체 과정에서 마스크와 웨이퍼를 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK7 (TOKYO ELECTRON MARK7) 을 사용하면 패턴이 가장 어려운 마스크조차도 뛰어난 성능으로 일관되게 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 노출 시간을 단축하기위한 고정밀, 고속 패턴화 도구를 갖추고 있습니다. MARK-7에는 패턴 오정을 최소화하기 위해 더 큰 초점 깊이를 생성하는 내장 Collimator 렌즈가 있습니다. TEL MARK-7에는 정확한 노출 후 도량형 및 정렬을위한 AMAS (Automated Metrology and Alignment Asset) 도 포함되어 있습니다. 이 모델은 언더컷과 오버에칭을 최소화할 수 있는 정확한 웨이퍼 위치와 정렬을 제공합니다. 또한 AMAS는 빠른 스캐닝 광학 (fast-scanning optics) 을 사용하여 노출 과정에서 패턴 검사 및 결함 감지를 단순화합니다. 이 장비에는 프로세스 제어를 강화하고 유지 보수 비용을 절감하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다 (영문). TEL/TOKYO ELECTRON MARK7에는 운영 능률과 단순하고 빠른 장치 설정을 제공하는 강력한 MAGIC (TEL Mark 7 Graphical Interface Control) 소프트웨어가 있습니다. 또한, 이 시스템에는 전체 프로세스를 모니터링하고, 프로세스 안정화를 개선하고, 입자 유발 결함의 발생률을 줄이고, 신속한 피드백 정보를 제공하는 제어 및 카메라가 내장되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 장치는 최신 집적 회로에 대해 정확하고, 빠르고, 비용 효율적인 포토 esist 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 조명, 전면 정렬 기계, 자동 도량형 및 정렬 도구 (Automated Metrology and Alignment Tool) 및 MAGIC 소프트웨어를 통해 Mark 7은 높은 차원의 정확도와 균일성을 가진 세계적 수준의 장치 패턴을 생산할 수 있습니다.