판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9241222

TEL (TE) TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment는 photoresist의 박막 층 증착 및 패턴화를 위해 반도체 제조에 사용되는 장치입니다. 이 제품은 오늘날 반도체 산업의 고급 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 정확한 화면 비율로 고해상도 (High-resolution) 이미지와 패턴을 제작할 수 있습니다. 시스템은 세 가지 주요 구성 요소 (컨트롤러, 안정 테이블 및 광학 챔버) 로 구성됩니다. 컨트롤러는 장치 제어 및 작동의 주 구성 요소로, 실시간 컴퓨팅, 데이터 분석, 피드백 (feedback) 신호를 활용하여 엄격한 프로세스 요구 사항을 충족합니다. 안정 테이블 (stable table) 은 코팅 및 패턴 프로세스 동안 기판의 정확한 배치를 보장합니다. 광학 챔버 (Optics Chamber) 는 이미징 프로세스를 담당하며, 패턴화에 사용되는 레이저 빔의 경로 길이 및 위치를 정확하게 제어합니다. TEL MARK7에는 성능 및 정확성을 향상시키는 여러 기능도 있습니다. 저온 플라즈마 활성화 층 (low-temperature plasma activation layer) 은 균일 한 저항층 두께와 기판 표면에 대한 저항의 향상된 접착을 보장하기 위해 사용됩니다. 고해상도 이진 스테퍼 (binary stepper) 와 고급 옵틱 챔버 (optics chamber) 를 사용하면 고해상도 패턴을 만들기 위해 광 노출을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 기계는 원하는 최종 패턴을 얻기 위해 프로세스를 미세 조정하는 기능을 갖습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7을 사용하면 크기가 0.125 마이크로 미터인 박막 레이어의 정확한 마이크로 제작을 달성 할 수 있습니다. 빛의 노출을 정확하게 제어할 수 있는 기능으로, 사용자는 다양한 모양과 피쳐 (feature) 크기의 레이어를 생성할 수 있습니다. 이 도구는 또한 펄스 주파수, 스팟 크기, 노출 에너지 등 다양한 작동 매개변수를 지원합니다. 따라서 MARK7은 복잡한 모양과 피쳐 크기의 처리를 만드는 데 적합한 자산입니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 (TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7) 은 단순하고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 모델 설치 및 작동을 단순화합니다. 이 장비에는 종합적인 진단/제어 시스템 (Diagnostic and Control System) 도 함께 제공되며, 이를 통해 사용자는 프로세스의 각 단계를 모니터링하고 필요한 조정을 수행할 수 있습니다. 결론적으로, TE TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unit은 photoresist의 증착 및 패턴화에 효과적이고 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 고급 기능 (advanced features), 고급 옵틱 (advanced optics), 종합 머신 제어 (comprehensive machine control) 의 조합으로 사용자는 정확한 종횡비와 피쳐 크기로 고해상도 패턴을 생성할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 TOKYO ELECTRON Mark 7을 박막 장치 및 응용 프로그램 제작에 이상적인 도구로 만들 수 있습니다.