판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239699
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ID: 9239699
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist 장비는 포토 esist 기술의 고급 개발입니다. 집적 회로 및 기타 정밀 장치의 제작을 돕기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 매우 작은 패턴 (pattern size) 을 매우 정밀하게 생성할 수 있으며, 다양한 환경에서 작동할 수 있습니다. TEL MARK7은 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있으며, 각 구성 요소는 다양한 생산 프로세스를 지원하기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 장치의 주요 구성 요소에는 파장 모니터, 프로세스 컨트롤러 및 증착/에칭 챔버가 포함됩니다. 파장 모니터 (wavelength monitor) 는 프로세스에 사용되는 빛의 파장을 정확하게 모니터링하는 데 사용됩니다. 광범위한 파장에 대해 가장 높은 정확도를 제공하도록 설계되어 안정적이고 일관된 (stable and consistent) 프로세스를 보장합니다. 프로세스 컨트롤러 (process controller) 는 다양한 응용 프로그램의 처리 매개변수를 정확하게 제어합니다. 다른 프로세스와 운영 속도를 최적화하도록 구성할 수 있습니다. 증착/에칭 챔버 (eposition/etching chamber) 는 얇은 필름을 포토 esist 물질로 증착 및 에칭하는 데 사용된다. 이 챔버 (chamber) 는 포토레지스트의 정확한 배치 및 에칭을 보장하기 위해 고급 메커니즘을 갖추고 있으며, 이는 높은 정밀도로 매우 작은 패턴 크기를 가능하게합니다. 그 "에너지 '는 또한 특정 한 과정 의 필요 에 맞도록 여러 가지 압력 과 온도 로 작동 할 수 있다. TOKYO ELECTRON MARK-7은 최첨단 전자 추적 기계를 사용하여 공정의 정확성에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 이 피드백은 프로세스 컨트롤러 (process controller) 로 전송되며, 이 피드백은 매개변수를 적절히 조정하여 원하는 결과를 유지합니다. 이 도구는 또한 입사한 빛의 편광을 자동으로 조정하여 최대 정확도와 안정성을 보장하는 지능형 마스킹 에셋 (Intelligent Masking Asset) 을 갖추고 있습니다. 이 모델은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 photoresist 인쇄 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL MARK-7은 집적 회로 및 기타 정밀 장치를 포함한 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 고급 기능 (advanced features) 을 탑재하여 최적의 생산량을 실현할 수 있으며, 클린 룸 (cleanroom) 환경에 사용하도록 설계되었습니다. 마크 7 (Mark 7) 은 안정적이고 정확한 포토레지스트 인쇄 장비를 찾는 제조업체에 적합한 선택입니다.
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