판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239698
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9239698
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 다중 계층 반도체 제조 공정의 정밀도, 속도 및 수율을 최적화하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 첨단 투영 이미징 (advanced projection imaging) 과 패터링 된 광자 기술을 활용하여 1 미크론 미만의 해상도로 알루미늄 에칭을 달성합니다. 고해상도 광학 (optic) 을 활용해 광저항층 (photoresist layer) 을 기판에 노출시켜 다양한 두께의 여러 레이어를 처리할 수 있다. 노출 과정은 서로 다른 파장의 2 개의 레이저 빔을 사용합니다. 하나는 등방성 (isotropic) 이고 다른 하나는 등방성 (anisotropic) 절제입니다. 이 장치는 향상된 레이어 두께 제어 (Layer-thickness control) 를 통해 구성되었으며, 패턴 정확도 및 에칭 서피스 품질을 높일 수 있습니다. 또한, 유전체 무결성을 보장하고 오염 가능성을 제거하기 위해 작동 중 입자가 없는 환경이 특징입니다. 또한 TEL MARK7 에는 전용 원격 관리 머신이 포함되어 있어 최적의 제어 및 감독이 가능합니다. 따라서 시스템 설정을 실시간으로 모니터링, 최적화, 조정하여 수동 프로세스의 필요성을 줄일 수 있습니다. 이 툴을 자동화하여 다양한 프로세스를 보다 빠르고 정확하게 진행할 수도 있습니다 (영문). 마지막으로, TOKYO ELECTRON MARK-7 은 고객의 기존 데이터베이스 인프라와 통합하여 다운타임을 최소화하면서 신속하고 반복 가능한 photoresist 작업을 제공합니다. TEL MARK-7은 집적 회로 칩의 고정밀도, 고수율 제조에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 컴팩트한 디자인, 낮은 운영 비용, 프로세스 제어 보호 기능, 엄격한 품질 관리 기능을 갖추고 있습니다. 자동화된 컨트롤과 함께 최신 프로젝션 이미징 (projection imaging) 과 패터링 된 광자 기술을 사용하여 TEL Mark 7은 시장에서 최고의 포토레지스트 자산입니다. 향상된 레이어 두께 제어, 입자가 없는 환경, 자동화된 프로세스 관리를 통해, Mark 7은 최고 수준의 포토레지스트 (photoresist) 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다