판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239616

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 집적 회로 제조를 위해 사진 촬영 및 패턴 처리 (patterning process) 에 사용되는 저항 개발 프로세서입니다. 이 저항 처리 시스템은 모듈 식 설계를 기반으로하며 저항 코터, 개발자, 스트리퍼 및 건조기/오븐으로 구성됩니다. 레지스트 코터는 기판에 포토 esist를 적용하는 데 사용됩니다. 그것 은 "코우팅 '무게 와 두께 를 정확 하게 제어 할 수 있게 하며, 또한 기판 에 반사" 코우팅' 을 적용 할 수 있게 한다. 개발자는 기판의 비이미지 (non-image) 영역에서 저항재료를 선택적으로 제거하는 데 사용됩니다. 고압 에어로졸 (Aerosol) 기술을 활용하여 포토 esist를 빠르게 제거하여 기판에 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 스트리퍼는 임의의 잔류 포토 esist 제거에 사용되는 별도의 단위입니다. 기판에서 최대 99.5% 의 두꺼운 저항 필름을 제거 할 수 있습니다. 건조기/오븐은 기질을 가열하고 나머지 용매 및 기타 오염 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 한 번에 최대 200mm 직경의 기판을 최대 4 개 처리 할 수 있습니다. 난방 용량은 최대 250 ° C이며 공기 설계를 사용하여 기판 왜곡을 최소화합니다. TEL MARK7 (TEL MARK7) 에는 기판이 정확하게 가열되고 처리되도록 다양한 센서가 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7은 직관적이고, 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 다양한 맞춤형 레시피 및 프로세스 프로토콜을 갖추고 있습니다. SPC (Statistical Process Control) 기능을 통해 기판을 가장 높은 정확도와 반복성으로 처리할 수 있습니다. 이 기계는 석영, 실리콘, 알루미늄, 구리 등 여러 재료의 청소, 밀봉 및 반사 방지 코팅에 적합합니다. MARK-7은 photolithography 프로세스를 위해 만들어진 효율적이고 신뢰할 수있는 저항 개발 도구입니다. 모듈식 디자인과 다양한 프로세스 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON Mark 7 (TOKYO ELECTRON Mark 7) 은 집적 회로 제조에 이상적인 플랫폼을 제공합니다.