판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9237076

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9237076
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Track system, 8" 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 포토 esist 장비는 고급 전자 장치의 제조에 사용되는 혁신적인 폴리머 박막 증착 및 에칭 시스템입니다. 이 고급 장치는 하위 미크론 라인 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기술은 단일 박막 증착기 (Thin Film Deposition Machine) 를 형성하기 위해 결합 된 화학 용액과 플라즈마 에칭 공정의 조합을 기반으로합니다. 이 기술은 레지스트 솔루션 (resist solution) 이 기판에 적용되는 2 단계 단계 및 반복 프로세스로 구성됩니다. 첫 번째 단계 는 "패터닝 '단계 인데, 그 단계 에서" 포토마스크' 를 정렬 하여 기판 에 노출 시킨다. 이 노출은 저항 필름에서 원하는 패턴을 만듭니다. 두 번째 단계 는 "플라즈마 '에칭 을" 레지스트' 필름 에 원하는 기능 을 만드는 데 사용 하는 "에칭 '단계 이다. 이 프로세스는 마스크에서 기판으로의 패턴 전송을 완료합니다. TEL MARK7 photoresist 도구는 고해상도 (higher resolution) 및 고급 피쳐 크기 기능을 포함하여 기존의 패턴 처리 프로세스에 비해 수많은 장점을 가지고 있습니다. 또한 더 높은 처리 속도와 향상된 정확도, 안정성을 제공할 수 있습니다. 이 프로세스는 또한 재 작업 및 조정 가능한 기능 크기를 허용하기에 충분한 다용도입니다. 자산은 또한 자동 프로세스를 제공하며, 이 프로세스는 웨이퍼 처리, 정렬 및 초점 조정으로 구성됩니다. 이 자동화는 인력 비용을 절감하고 프로세스의 반복성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 또한 프로세스의 효율성을 높여 처리 시간을 단축합니다. 이 모델의 고해상도 및 기능 크기 기능과 결합된 이러한 이점은 TOKYO ELECTRON MARK-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 을 고밀도 패턴화 프로세스를위한 매우 안정적이고 찾는 솔루션으로 만듭니다. 이 장비 는 "반도체 '산업 에서 고급" 반도체' 와 광전자 장치 의 생산 에 널리 사용 되어 왔다.
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