판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235179

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 빠르고 정확한 저항을 처리 할 수있는 고급 포토 esist 장비입니다. 완전 자동화된 클로즈드 루프 (closed loop) 시스템으로, 단일 단계에서 저항 분배, 노출 및 베이크를 제어합니다. 또한 TEL MARK7은 다양한 저항 처리 응용 프로그램을 수용할 수있는 광범위한 노출 및 정리 매개 변수를 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-7에는 photoresist 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 CD (Calibrated Dispenser) 가 장착되어 있습니다. 그것은 균일하고 반복 가능한 포토 esist 용량을 보장하기 위해 조절 가능한 분배 노즐을 가지고 있습니다. 분배 헤드는 또한 온도와 압력을 제어 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7은 자외선 (UV) 노출 장치 및 그림자가 없는 노출 장치를 제공합니다. 그것 은 진보 된 "에어나이프 '기계 를 포함 하여, 발달 하는 지역 을 깨끗 하게 유지 하여 개발 시간 을 줄이고, 정확도 를 높인다. TOKYO ELECTRON MARK7에는 HF 또는 UV 노출과 같은 다른 프로세스에 대한 정확한 노출 시간을 제공하는 내장 프로세스 알고리즘도 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7에는 AHCS (Active Heat Control Tool) 도 있습니다. 이 에셋은 PID 컨트롤러를 사용하여 가열 요소를 정확하게 제어합니다. 또한 여러 온도 프로파일 (multiple temperature profile) 을 선택하여 특정 응용 프로그램에 가장 적합한 온도 프로파일을 선택할 수 있습니다. 또한, TEL MARK-7은 노출 과정에서 포토 esist에 균일 한 압력을 보장하는 독립적 인 압력 (over pressure) 모델을 제공합니다. TEL Mark 7에는 자동 저항 정리 모듈도 있습니다. 이 모듈은 내장형 노즐 장비를 사용하여 기판의 나머지 저항을 청소합니다. 클렌저는 자취를 남기지 않고 전체 기판 표면에서 포토 esist를 제거합니다. MARK7은 최대 200mm x 300mm의 기판 크기로 최대 4mm 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 수동 로딩으로 한 번에 최대 12 개의 기판을 처리 할 수 있습니다. 마크 -7 (MARK-7) 의 효율성과 정확성은 광범위한 응용프로그램에 이상적인 포토리스 처리 시스템이다.