판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9235085

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9235085
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Track system, 8" 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 미세 전자 및 정밀 사진 해설이 필요한 기타 응용 분야를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 최신, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 안정적이고, 고품질 저항의 증착 및 노출 프로세스를 제공합니다. TEL MARK7 포토 esist 시스템은 독특한 수직 조명기 (vertical luminator) 디자인을 특징으로하며, 이는 접촉 인쇄에 더 나은 조정을 가능하게하며 사진 유발 저항성 증착에 최적화된 가벼운 균일성을 제공합니다. 이 장치에는 7 인치 공조기 렌즈가 장착되어 있으며, 알맞은 CD 제어로 하위 미크론 기능 크기를 매우 정확하게 처리 할 수 있습니다. 자동 정렬 기계는 대형 생산 웨이퍼에 비해 정밀도와 균일성이 높은 이미지를 허용합니다. 이 도구는 Prebake 비전 플랫폼, Safety 폭발 챔버 및 Resist 플랫폼으로 구성됩니다. Prebake 플랫폼은 베이킹 및 프리 베이크 프로세스에 사용됩니다. 표적온도에 도달했을 때 경고하기 위해 프리 베이크 오븐 (prebake oven) 과 열전대 경보 에셋 (alarm asset) 이 장착되어 있습니다. 안전 폭발 챔버 (Safety blast chamber) 는 노출 과정에서 저항과 기판이 항상 보호되도록 함으로써 웨이퍼 처리량을 증가시키는 데 도움이됩니다. Resist 플랫폼은 높은 수율 결과를 위해 정확한 저항 증착과 노출을 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 포토 esist 모델에는 안정적인 작동을 위해 고성능 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 고급 GUI (Graphical User Interface) 는 명확하고 직관적인 탐색을 허용하며, 운영자가 작업을 신속하게 설정하고 볼 수 있도록 합니다. 이 장비는 정교한 보안 시스템을 통합하여, 중요한 영역과 데이터에 대한 액세스를 제한합니다. TOKYO ELECTRON Mark 7 포토 esist 유닛은 광범위한 마이크로 일렉트로닉스 및 기타 응용 분야에서 최대 안전 및 편리성을 보장합니다. Cleanroom 환경에서의 운영을 지원하기 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한 고급 환경 모니터링 (Environmental monitoring) 기능을 통해 사용자가 실시간으로 환경을 모니터링할 수 있습니다. Energy Star 호환 전원 공급 장치를 통해 에너지 소비를 줄이고 비용 효율적인 운영을 지원합니다.
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