판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216894

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 포토 esist 장비는 반도체 및 광전자 생산 프로세스에 사용되는 정밀 석판 장치입니다. 이 시스템은 초소형 기능이있는 장치의 제작에서 세계적 수준의 마이크로 미터 (sub-micrometer) 정밀도를 지원합니다. 이 장치는 고화질 프로젝터를 특징으로하여 포토 esist 레이어를 정확하게 노출시킵니다. 이러한 고급 프로젝터에는 ORP (Optical Rhombic Prism) 렌즈 배열이 장착되어 있으며, 이는 렌즈 수차의 왜곡과 효과를 지속적으로 수정하면서 이미지를 정확하게 초점을 맞출 수 있습니다. ORP 렌즈 어레이는 또한 정확한 0.25um 기능 인쇄를 가능하게하여 이미지 크기를 4 배 줄입니다. 정교한 노출 제어 피드백 루프 도구로 TEL MARK7 기계가 더욱 향상되었습니다. 이를 통해 칩 설계의 하위 필드당 노출을 미세 조정할 수 있습니다. 이것은 나노 스케일에서 제조에 중요한 반복 가능하고 높은 정확도 노출 프로세스를 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 에는 칩의 이미지가 포커스에 정확하게 유지되도록 독점적 인 기능을 갖춘 photoaligner 자산이 있습니다. 이것은 크기가 0.20um 미만인 것과 같은 초소형 기능을 인쇄할 때 특히 중요합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 모델은 환경 영향을 줄이고 매우 깨끗한 작업 환경을 유지하기 위해 설계되었습니다. 공수 오염 물질, 먼지, 미세 입자를 제거하여 오염을 피하기 위해 내장 건조 가스 순환 및 여과 장비를 갖추고 있습니다. 도쿄 전자 MARK7 (TOKYO ELECTRON MARK7) 은 또한 광저장제 과정에서 휘발성 유기 화합물 및 기타 증기 방출을 감소시키는 진공 섭취 시스템을 가지고 있습니다. 마지막으로, MARK7 장치는 다운타임을 줄이고 24/7 생산을 원활하게 수행할 수 있는 높은 안정성으로 유지 관리 및 수리를 용이하게 하도록 설계되었습니다. 업타임 스케줄러 (Uptime Scheduler) 를 통해 운영 중단 없이 유지 보수 체크업 및 예방 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. TEL Mark 7은 환경 영향 및 신뢰할 수있는 환경에서 충실도, 정확도, 반복성이 높은 초소형 기능을 생산할 수있는 정밀 석판화입니다. 이것은 반도체 및 광전자 생산에 훌륭한 선택입니다.