판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9216078

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 반도체 장치 생산 중에 리소그래피에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 해상도의 포토레지스트 (photoresist) 도구와 고급 이미징 광학을 통합하여 뛰어난 웨이퍼 이미징 성능과 해상도를 제공합니다. TEL MARK7 장치는 서브미크론 레벨 리소그래피 응용 프로그램을 처리하는 데 이상적입니다. 포토 esist 머신에는 전용 포토 esist 프로세서가 포함되어 있으며, 이는 웨이퍼 표면에 균일하고 정확한 포토 esist 필름을 적용하는 데 사용됩니다. 또한 정밀 이미징 광학 도구 (precision imaging optics tool) 가 포함되어 있는데, 이 도구는 나노 미터 해상도의 웨이퍼 표면에 포토 esist를 이미지화하는 데 사용됩니다. 이미징 광학에는 고해상도 목표가 포함되어 있어 웨이퍼 표면에서 회절 제한 (diffraction-limited) 이미지 품질이 우수합니다. 또한 "로봇 '의" 간트리' 에셋 '은 광학 을 정확 하게 배치 하고 "웨이퍼' 표면 을 자동 주사 하는 데 사용 된다. 포토리스 (photoresist) 모델은 컴퓨터로 제어되며, 사용자가 이미징 매개변수를 프로그래밍하여 원하는 웨이퍼 패턴을 얻을 수 있도록 합니다. 이 장비는 광학 스테퍼, 스핀/딥 코팅 및 홍수 노출을 포함한 다양한 인기있는 리소그래피 노출 기술과 호환됩니다. 또한 사용자가 다양한 크기의 웨이퍼 (예: 대형 또는 소형 기판 형식) 를 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 포토 esist 시스템은 고급 가스 제트 장치 (gas jet unit) 로 구성되며, 처리 중에 포토 esist 물질을 웨이퍼로 전달하는 데 사용됩니다. 이 가스 제트 머신 (gas jet machine) 은 처리 중 웨이퍼 표면에 균일 한 저항 범위를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 도구에는 반사 방지 코팅 모듈 (Anti-reflection coating module) 이 포함되어 있으며, 이미징 중 웨이퍼 표면에서 빛의 반사를 줄이는 데 도움이됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 포토 esist 자산에는 온도 조절 모델이 장착되어 있으며, 이를 통해 이미징 중 리소그래피 광학의 온도를 조절 할 수 있습니다. 또한 청소 "모듈 '도 포함 되는데, 이것 은 영상 을 본 후" 웨이퍼' 표면 에서 저항제 를 청소 하는 데 사용 된다. 전반적으로, MARK-7은 사용자의 석판화 이미징 요구를 충족 할 수있는 고급 사진주의 장비입니다. 뛰어난 해상도의 이미징 (Imaging) 과 다양한 고급 기능을 제공하여 고품질 반도체 장치를 효율적으로 생산할 수 있습니다.