판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9215816

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 반도체 제조 및 생산을위한 고급 석판 노출 솔루션을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 공정 제어 (process control) 및 이미지 배치 정확도를 극대화하는 고급 장비입니다. TEL MARK7은 OPC (Optical Proximity Correction) 를 사용하여 반도체 웨이퍼에 매우 정확한 광학 리소그래피 패턴을 만듭니다. OPC 알고리즘을 사용하면 나노 미터 수준까지 미세한 피쳐를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이것은 현대 반도체 제품에 사용되는 매우 복잡한 IC 디자인을 성공적으로 제작하는 데 필요합니다. 이 기계는 또한 매우 정확한 모션 시스템을 가지고 있으며, 모션 컨트롤 센서는 높은 정확도 포지셔닝 (positioning) 과 속도 피드백 (feedback) 을 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 의 스캐닝 장치는 느리고 빠른 모드 모두에서 작동하므로 웨이퍼 표면에 미크론 스케일 패턴을 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 또한 ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) 및 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) 표준에 의해 인증 된 동일한 기계입니다. TEL MARK-7은 또한 특허를받은 in-situ 웨이퍼 클램핑 도구를 갖추고 있습니다. 이를 통해 웨이퍼의 단단하고 균일 한 클램핑을 통해 리소그래피 프로세스 동안 더 나은 wbstrat 배치를 보장합니다. 이것은 리소그래피 패턴의 오류를 일으킬 수있는 잘못된 정렬을 방지하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON MARK7 (TOKYO ELECTRON MARK7) 에는 와퍼의 광학 리소그래피 패턴의 광도를 정확하게 측정 할 수있는 최첨단 광 검출기가 장착되어 있습니다. 이 검출기는 정확한 패턴 전송에 대한 완벽한 노출 조건을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 기계에는 노출 난류 모니터, 지형 모니터, 이미지 등록 검증 자산 (image registrationverification asset) 과 같은 다른 고급 기능이 포함되어 있어 작업 중 정확한 노출 조건과 정렬을 보장합니다. 이러한 기능은 정확하고 반복 가능한 제작 결과를 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 이 기계에는 다양한 리소그래피 패턴 (lithography pattern) 을 전환할 때 시간과 노력을 절약하는 자동화된 레티클 교환 (reticle exchange) 모델도 포함되어 있습니다. 이 장비를 사용하면 다른 패턴 (pattern) 사이를 전환할 수 있습니다. 즉, 단일 버튼을 누를 수 있습니다. 분명히, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7은 반도체 제조 및 생산을위한 고급 석판 노출 솔루션을 제공하는 고급적이고 매우 정확한 장비입니다. 정확한 모션 시스템, 내부 웨이퍼 클램핑 장치 (in-situ wafer clamping unit), 광탐지 장치 (light detection machine) 및 기타 기능은 정확하고 반복 가능한 제조 결과를 보장하는 훌륭한 도구입니다.