판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9190328
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ID: 9190328
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Coater / (2) Developer system, 8"
Power supply
Chem box
ADH
8 HP
(3) CP / (2) WEE
1998 vintage.
텔/도쿄 전자 마크 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7) 은 전자 부품 제조에 사용되는 회로의 정확한 에칭을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 사진 마스크 (photo-mask) 를 사용하여 소재에 에칭할 패턴을 투영하면 전자부품 (electronic component) 을 정밀하게 패턴화할 수 있습니다. 이 장치는 반도체에서 폴리실리콘 (polysilicon) 및 유리 (glass) 에 이르기까지 다양한 유형의 재료를 지원하여 다양한 제조 공정의 유연성을 제공합니다. 기계 자체는 마스크 체인저, 척 (또는 플래튼), 트랙을 포함한 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. "마스크 체인저 '는 여러 가지 공정 에 필요 한 다른" 마스크' 를 꺼내는 데 사용 되며, "척 '은" 패터닝' 에 필요 한 재료 를 보유 하고 있다. "트랙 '은" 척' 을 움직 이고 재료 를 무늬 로 할 수 있는 동력 을 공급 한다. 기계 는 "척 '이나" 플래튼' 을 극히 소량 의 양 으로 정확 하게 배치 할 수 있으므로, 원하는 "패턴 '을 정확 하게 에칭 할 수 있다. TEL MARK7 은 또한 컴퓨터 컨트롤러를 내장하여 에칭 (etching) 프로세스를 쉽게 설정하고 관리할 수 있습니다. 사용자가 패턴 크기, 모양, 노출 시간 등 다양한 설정을 선택할 수 있습니다. 연산자는 또한 다양한 마스크 패턴 (mask pattern) 을 선택할 수 있으므로 에칭 프로세스를 더욱 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구에는 반전 (reverse-etch) 옵션도 포함되어 있습니다. 이 옵션은 패턴화된 영역에서 과도한 재료를 제거하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기능은 사용자가 미세한 기능과 제품을 생산할 수 있는 정확하고 반복 가능한 (repeatable) 방법을 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON MARK-7의 램프 강도는 쉽게 조절 가능하여 정밀도를 높일 수 있습니다. 결론적으로, 마크 7 (Mark 7) 은 전자 부품 생산에 사용되도록 설계된 고급 포토레시스트 자산입니다. 조정 가능한 마스크 체인저, 정밀 척 (chuck) 포지셔닝 및 리버스 에칭 옵션을 갖춘 TOKYO ELECTRON MARK7은 복잡하고 정확하게 생산 된 전자 부품의 개발에 귀중한 도구입니다.
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