판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9119206
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ID: 9119206
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1995
Track system, 6"
Left to right for 8"
Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette)
Configuration:
Main body
IF
Chemical cabinet 1
Chemical cabinet 2
THC
PC rack
Main controller: NEC FC-9801F
C/S Robot type: vacuum arm, ceramic pincette
Main robot type: 3 pincette arm
Indexer: laser diode mapping sensor
COAT:
(4) Resist nozzles / bellows pumps
(1) Gallon resist bottle / thinner local supply (canister)
EBR nozzle / back rinse nozzle
Local drain (1st SUS 10L tank/drain pump)
DEV:
Nozzle type: E2
Rinse nozzle / back rinse nozzle
Local supply / facility drain
WEE:
TEL Standard
UL-200T-L1 UV Light source
AD:
TEL Standard
Local supply
Currently warehoused
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 반도체 소자 생산을위한 사진 분석 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "레이저 '광선 기술 을 통해 공정 중 에 생성 되는 폐광 을 제거 하는 한편, 기판 표면 의 광학 상태 를 조절 한다. TEL MARK7은 조정 가능한 슬릿 및 진동 광학과 함께 레이저 광원에 633nm 또는 635nm 레이저 파장을 사용합니다. "레이저 '광선 의 강도 와 기울기 에 맞추어 조정 할 수 있는 반사기 와 광학" 필터' 조립 장치 가 있다. 또한 기질의 노출 기간을 정확하게 제어 할 수있는 고정밀 셔터 (high-precision shutter) 가 포함되어 있습니다. 도쿄 전자 MARK-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 에는 착실이나 탈락없이 일관된 속도로 포토 esist 재료를 분배 할 수있는 내장 포토 esist 분배 장치가 있습니다. 이 기계는 환경 오염을 최소화하고 배경 간섭을 최소화하도록 설계되었습니다. 슬릿-각도 (slit-angle), 레이저 전원 (laser power) 과 같은 여러 매개변수를 설정하여 고정밀 표면 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구의 공간 해상도는 1m로, 다양한 기판 표면에서 고품질 (High-Quality) 결과를 낼 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 (TEL/TOKYO ELECTRON MARK7) 은 고정밀 제어 기능을 갖춘 매우 효율적인 자산으로, 반도체 장치 제조에 이상적인 선택입니다. 그것은 신뢰성이 높으며 견고한 구조로 인해 긴 수명을 자랑합니다. 이 모델은 쉽게 설정할 수 있으며, 사용자에게 매우 친숙합니다. 전반적으로 MARK-7은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 레이저 라이트 (Laser-Light) 기술과 조절 가능한 슬릿 및 진동 광학 (Oscillation Optic) 으로 인해 매우 정확한 결과를 제공 할 수 있습니다. 매우 신뢰성 있고 사용자 친화적이며, 극한의 품질의 기판 (substrate) 을 생산하는 데 이상적인 선택입니다.
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