판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098207

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9098207
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
(1) Coater / (2) Developers system, 8" 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 포토레지스트 (photoresist) 장비는 반도체 제작 프로세스에 주로 사용되는 프로그래밍 된 장치로, 사용자가 정확한 모양과 크기의 웨이퍼에 포토레시스트 물질을 정확하게 개발할 수 있습니다. 이 시스템은 매우 세밀한 세부 사항을 갖춘 정교한 집적 회로를 생산하는 데 이상적입니다. TEL MARK7 (TEL MARK7) 은 wafer의 논리 레이어에서 데이터를 읽는 고속 CCD 이미지 캡처 장치를 사용하는 최적화된 데이터 처리 장치 (단 몇 초) 에 의해 구동됩니다. 그런 다음 데이터를 중앙 컨트롤러 장치 (Central Controller Unit) 로 전송하고 지침을 로봇 컨트롤러로 보냅니다. 이렇게 하면 재료를 매우 정확하고 정확하게 처리할 수 있습니다. 사용자 정의 매개변수와 함께 CCD 카메라에서 가져온 데이터는 포토레시스트 개발 패턴 (photoresist development pattern) 을 생성하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 생성된 지침에 따라 로봇 컨트롤러가 웨이퍼를 패턴화합니다. 결과는 사용자가 제공하는 정확한 사양을 따르는 매우 정확한 photoresist 코팅입니다. TOKYO ELECTRON MARK-7은 또한 펄스 레이저 강도 제어, 고급 냉각 제어, 포토레스 코팅 품질을 지속적으로 관찰하고 평가하는 현장 모니터 (in-situ monitor) 와 같은 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 다양한 포토마스크 처리 작업 (photomask processing operation) 에서 최고 수준의 정확도와 정밀도를 보장합니다. TEL MARK-7 (TEL MARK-7) 은 시간당 최대 180 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 사용자 친화적으로 운영자가 시스템 설정을 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 는 이중 하중 잠금기 (double load locking machine) 를 갖추고 있는데, 이것 은 실수 의 위험성 없이 하중 (load) 포트 에서 치료실 까지의 웨이퍼 를 안전 하게 안내 할 수 있다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON MARK7 포토레지스트 (photoresist) 도구는 광범위한 기능을 갖춘 매우 강력한 장치로, 매우 세밀한 세부 사항을 갖춘 정교한 집적 회로의 생산에 이상적입니다. 자동 (automated) 데이터 획득, 처리 및 개발 (processing) 기능은 높은 처리 속도와 함께 포토레스 소재 (photoresist material) 로 웨이퍼를 일괄 처리하기 위한 완벽한 선택입니다.
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