판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098204

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9098204
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
(1) Coater / (2) Developers system, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7은 반도체 용 웨이퍼 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 수직/수평 정렬 시스템 (vertical/horizontal alignment system) 을 사용하여 결과 웨이퍼의 처리 정밀도에 대한 매개변수를 측정하고 설정합니다. 이 장치 는 "프로세서 '에 정밀 한" 데이터' 를 공급 하는 특수 "센서 '를 장착 할 수 있으며, 그 기계 는 완성 된 제품 의 질 에 최적화 될 수 있다. 이 공구는 다양한 포토 esist 코팅을 웨이퍼에 적용 할 수 있습니다. 포토 esist (Photoresist) 는 IC의 제조에 사용되는 가벼운 민감성 화학층으로, 트렌치, 접촉 구멍 및 기타 기능을 형성하기 위해 에칭될 수있다. 이 과정 을 거치면서, 광광자 는 물질 을 경화 시키고 "에치 '를 할 준비 를 하기 위하여 자외선 에 노출 된다. 자산은 또한 모든 저항 코팅을 적용, 처리 및 제거 할 수 있습니다. 이 모델에는 자가 진단 기능 (self-diagnostic feature) 이 있으며, 자세한 지침과 오류 메시지를 제공하여 운영자가 장비의 문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 모든 산업 표준 도구 (standard tools) 와 호환되므로 반도체 제조에 사용되는 거의 모든 추가 장비와 사용할 수 있습니다. 이 장치는 "웨이퍼 (wafer) '에 적용된 매개변수를 정확하게 제어하고 유지 관리 비용이 적게 들면서 최적의 생산 효율을 위해 설계되었습니다. 기계의 전력 소비량은 "녹색 (green)" 비율로 프로그래밍되어 에너지를 절약하고 현장 운영 비용을 절감합니다. 결론적으로, TEL MARK7은 반도체 용 웨이퍼를 제조하도록 특별히 설계된 첨단 포토 esist 도구입니다. 수직/수평 정렬 자산, 자체 진단 기능, 업계 표준 툴과의 호환성 등을 갖추고 있습니다. 이 모델은 낮은 유지 보수 요건으로 제공되며, 에너지 절약에 최적화되어 있습니다.
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