판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098202

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9098202
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(2) Coaters System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 포토 esist 장비는 반도체 장치에 매우 정확하고 반복 가능한 리소그래피 프로세스를 제공하도록 설계된 반도체 칩 생산 시스템입니다. 기존의 리소그래피 (lithography) 프로세스에 사용되는 포토 마스크 (photomask) 또는 패턴 생성 미디어의 필요성을 제거하는 기술 인 마스크 없는 리소그래피 (maskless lithography) 와 새로 개발 된 가스 흐름 플라스틱 분산 시스템 (gas-flow plastic distersion system) 을 사용하여 포토리스 물질의 균일 한 증착을 허용합니다. 이 장치는 매우 자동화되고 사용하기 쉽고, 운영자가 동시에 최대 9 명의 사망에 대한 석판 처리 (lithography process) 를 신속하게 설정할 수 있습니다. 고해상도 레이저 (High-resolution Laser) 범위를 활용하여 미디어 패턴화 프로세스의 매우 민감하고 상세한 요구 사항을 고려하고, 패턴을 형성하는 데 사용되는 바인더 (Binder) 컴포넌트에 저에너지 이미징 기능을 제공합니다. TEL MARK7은 또한 photoresist의 이미징 및 위치 정렬을위한 자동 액정 디스플레이 (LCD) 머신을 특징으로하며, 9 개의 이미지 모두에 상단 표면 이미징을 사용할 수 있습니다. 이 상세한 최상위 위치 정확도는 독특한 2 차원 단계에 의해 제공되며, 이는 석판 공정의 제어 및 정확성을 향상시킵니다. 이 도구는 혁신적인 자체 정렬 플랫폼을 사용하여 정확한 플레이트 어셈블리와 다이 배치 (die placement) 의 마이크로미터 정확도를 제공합니다. 이것 은 여러 종류 의 기판 에 "포토레지스트 '물질 을 배치 할 때 극도 의 정확성 을 보장 한다. 또한 큰 코팅 표면 (coting surface area) 을 특징으로하며, 이는 응용된 포토 esist의 변형이나 왜곡없이 균일 한 증착을 가능하게한다. 또한, 자산에는 장비, 인력, 생산 프로세스의 안전을 보장하기 위한 고급 모니터링 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 낮은 방사선 속도 (radiation rate) 로 생산 영역의 모든 객체를 감지하여 안전 표준 (Safety Standard) 을 개선하도록 설계되었습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON MARK-7 포토 esist 모델은 고급 자동 반도체 칩 생산 장비로, 리소그래피 프로세스에 대한 향상된 정확성, 반복 가능성 및 안전성을 제공합니다. 첨단 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 과 수많은 안전 기능으로 인해 칩 생산에 탁월한 선택이 가능합니다.
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