판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9092964

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9092964
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Track systems, 8", 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 포토 esist 장비는 집적 회로 제작에 사용되는 고급 사진 분석 시스템입니다. 이 기술을 통해 엔지니어는 뛰어난 정확성과 회로 설계 (circuit design) 를 얻을 수 있으며, 칩 제작에 이상적인 도구입니다. TEL MARK7은 165mm 스테퍼를 갖춘 완전 자동화 장치 (Full Automated Unit) 로 반도체 웨이퍼 표면에 포토리스 코팅을 정확하게 노출 할 수 있습니다. 그것 은 "레티클 '을 정확 하게 정렬 하는 데 사용 할 수 있는" 레티클' 단계 를 갖추고 있다. 기계는 1:1 재생산에서 10 나노 미터 (nm) 의 정확도 공차를 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 도구는 스프레이 코팅, 회전, 제팅 및 디핑과 같은 고급 처리 옵션과 웨이퍼 검사 시스템 제품군도 갖추고 있습니다. 이 모든 시스템은 엔지니어가 자신의 프로세스에 대해 월등히 제어하고, 제작하는 동안 부품을 검사하는 기능을 제공합니다. 에셋은 저항 노출을 제어하기위한 모델로 더욱 향상되었습니다. '노출 시간' 과 '투약' 은 정확하게 제어할 수 있어 엔지니어가 변동 없이 원하는 저항 개발을 달성할 수 있습니다. TEL Mark 7에는 레시피, 웨이퍼 맵, 결함 지표 등과 같은 중요한 데이터를 보관하는 데 사용할 수있는 MES (Embedded Manufacturing Execution Equipment) 가 있습니다. 이 시스템은 다른 시스템과 네트워크 간의 통신을 가능하게 하는 네트워킹 (networking) 기능으로 더욱 향상되었습니다. 간단히 말해서, TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unit (TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unit) 은 집적 회로를 제작 할 때 엔지니어에게 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하는 고급형 사진 분석 기계입니다. 그것의 기능과 기능의 조합은 칩 (chip) 제조 요구에 이상적인 도구입니다.
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